Показать метаданные Скрыть метаданные

(19)

(11)

517 863

(13)

(51)

МПК

H01L21/66(2000-01-01)

G01R31/26(2000-01-01)

(21) (22)

Заявка

2028665, 1974-05-31

(22)

дата подачи заявки

1974-05-31

(45)

опубликовано

1976-06-15

(72)

авторы

Двинских Василий АлександровичПарусов Вячеслав ПетровичМаслов Сергей СергеевичСергеев Алексей Сергеевич

Устройство для измерения профиля легирующей примеси в полупроводниковых структурах Советский патент 1976 года по МПК H01L21/66 G01R31/26

Описание патента на изобретение SU517863A1

Похожие патенты SU517863A1

название	год	авторы	номер документа
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК СВОЙСТВ ГРУНТОВ	1993	Савватеев Сергей Сергеевич Соловьев Александр Сергеевич Савватеев Александр Сергеевич	RU2054501C1
СПОСОБ ЛЕЧЕНИЯ ИШЕМИЧЕСКОЙ БОЛЕЗНИ СЕРДЦА	1990	Горшков Владимир Сергеевич Свистов Александр Сергеевич	RU2012376C1
СИСТЕМА РЕЗОНАНСНОГО НАДДУВА ДВИГАТЕЛЯ ВНУТРЕННЕГО СГОРАНИЯ (ВАРИАНТЫ)	1996	Силин Вадим Сергеевич Силин Дмитрий Сергеевич	RU2114313C1
СПОСОБ ПРОФИЛАКТИКИ МОТОРНО-ЭВАКУАТОРНЫХ НАРУШЕНИЙ В ПИЛОРОДУОДЕНАЛЬНОЙ ЗОНЕ У БОЛЬНЫХ РАКОМ ПИЩЕВОДА ПОСЛЕ РЕЗЕКЦИИ И ПЛАСТИКИ ПИЩЕВОДА ИЗОПЕРИСТАЛЬТИЧЕСКИМ ЖЕЛУДОЧНЫМ СТЕБЛЕМ	1991	Зуев Александр Сергеевич Мамонтов Анатолий Сергеевич	RU2074734C1
ДАТЧИК УРОВНЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ВЕЩЕСТВА	1990	Минаев Вячеслав Сергеевич Совлуков Александр Сергеевич	RU2027150C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СИЛОВЫХ ФАКТОРОВ, ДЕЙСТВУЮЩИХ НА КОЛЕСО	2003	Воеводенко Евгений Сергеевич Воеводенко Михаил Сергеевич Шулешкин Григорий Сергеевич	RU2276777C2
ПЕДАЛЬНЫЙ КРИВОШИПНО-ШАТУННЫЙ МЕХАНИЗМ ВЕЛОСИПЕДА	2013	Устьянцев Сергей Леонидович Устьянцев Александр Сергеевич Устьянцев Иван Сергеевич Устьянцев Григорий Сергеевич Устьянцев Михаил Сергеевич Устьянцев Леонид Сергеевич	RU2536995C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ СВЕТОМ ГОРТАНИ И СЛИЗИСТОЙ ОБОЛОЧКИ ПОЛОСТИ РТА У ДЕТЕЙ	2005	Зродников Владимир Сергеевич Подсосонный Андрей Сергеевич Дмитриев Александр Сергеевич	RU2286186C1
ПРОТИВОУГОННОЕ УСТРОЙСТВО	2004	Лыков Геннадий Сергеевич Панащенко Владимир Сергеевич	RU2296069C2
ТРУБОПРОВОД	2008	Нестеренко Георгий Сергеевич Стоян Виталий Сергеевич	RU2345269C1

Иллюстрации к изобретению SU 517 863 A1

Реферат патента 1976 года Устройство для измерения профиля легирующей примеси в полупроводниковых структурах

Формула изобретения SU 517 863 A1

SU 517 863 A1

Авторы

Двинских Василий Александрович

Парусов Вячеслав Петрович

Маслов Сергей Сергеевич

Сергеев Алексей Сергеевич

Даты

1976-06-15—Публикация

1974-05-31—Подача