Интерференционный способ измерения кинематической погрешности механизмов в работе Советский патент 1976 года по МПК G01B9/02 

(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ МЗМЕРЕНИЯ КИНЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ МЕХАНИЗЛ ОВ В РАБОТЕ.

..1. -, : : Иаобретение относится к измерительной технике, а именно к. спосс ам измерения кинематической и циклической погрешностей зубчатъ1х колес и угловых перемещений.

Извёстнь способы измерения кияематичес кой погрешности и углорых перемещений: механические, магнитрэлектрические, фотоэлектрические, сейсмические и оптические.

Из известных оптических способов измерения угловых перемещений более точным является Интерференционный. Этот способ заключается в том, что на вращающихся концевых звеньях механизма закрепляют отражатели света, а на его станине неподвижно закрепля1бт двухлучевой интерферометр, длину оптических плеч которого ограничивают отражателями, и измеряют угол поворота рычага по смещению интёрферен- иионной картины.

Этот способ имеет малый диапазон из- меряемого угла поворота рычага, поэтому его нельзя применять для непрерывного измерения кинематической погрешности механизмов с вращающимися концевыми звеньями на полном их обороте. Недостаток этот

обусловлен физическими особекн-тстями ин- терференцион№1х измереннй{ большой угчзл поворота рычага вызывает такую большую разность оптических пу.тей дкух. лучей- интерферометра, что их интер(рё1щияр бе-лом свете невозможна,. а интерфе;р.енция в монохроматическом свете не дает чадеж- цых результатов измерения.

, Целью изобретения является повышение ;ТЬчности измерения, т.е. обеспечение не-; прерывного измерения килсматггчеокой по- ;грешности мехшдаэмов на полном оборота IHX звеньев. - /-,

Дг этого отражатели располагак на . ;:равных расстояниях от осей вращения концевых звеньев Механизма и закрепляют их в одинаковых фазах движения относительно интерферометра.

На чертеже изображена оптическая схема реализации предложенного способа.

Схема содержит отражатели 1, выполненные в виде счетвере шых уголковых отражателей, концевые звенья 2 контролируемого механизма 3, двухлучевой интерферометр 4.

Устетавливают два отражателя 1, например счетверенные уголковые отражатепи, ПО одному яа каждом из коип5Ььгх авельев 2 (ведомом и Еюдушим) контролируемого механизма 3, Закрепляют двухлучевой ин терферометр 4 на неподвижном основании (на схеме не показано).

После этого устанавливают отрвжателн на конпевых звеньях механизма на oaHHaiковых расстояниях от осей врашення, ограничивая тем самым длины оптических . ппеч интерферометра. Затем закрепляют о-фа сатели в одинаковых фазах движения их относитепыю интерферометра, уравнивая этим оптические пути Двух его пучей.

Приводят звенья механизма, в непрерванное движение и наблклдают перемощение интерференционных попос, которое будет иметь место при нарущс: .ии равенства оптических путе интерферометра, которое цаблюдьутся при кинематической погрешности; т.е. некоторой небощьШой разности между перемкшениями кОнцев1лх звеньев механизма, нмсюшего номинплы ое переде- точное отношение, равное единице.

В} пшсляют разность длины плен интерферометра, возникшую в результате лрояв- пакия кинематической погрешности на данном угле поворота, и известными приемам

пересчитывают ее на кинекатическую погрешность

Многочисленные экспернментальт11е данные показали, что точность кзмерения но данному способу вьпие, нежели известными способами и устройствами, основаны на этих способах.

Ф

о р м у я а я зоб р е т

е н ив

Интерференционный способ измерения кинематической погреиюости механизмов в работе, имеющих передаточное отношение равщх) единице, закпючаюшибря в тОм, что .на вращающихся концевых мехаввэма закрепляют отражатели, света, п на e станине неподвижно закрепляют двухлуче- вой интерферометр,длкну оптических плеч которого ограничивают отражателямн, и измерякуг им однов| емешго углы поворота обоих звеньев а rto смей1еннк) интпрфс реннионнов судят о киаематической погрешности мехаивзмов, о т пи ч а loш н ft с я тем, что, с Делью П1 иышения ТОЧ1ГОСТИ измереося, отражатели распбпагают на равных расстоягшях от осей вращения концевых звеньев и закре1ш;шрт их в одинаковьис фазах движен ш относительно интерферометра.