Устройство для измерения кинематической погрешности механизмов Советский патент 1979 года по МПК G01B9/02 

кицееся. другим отражателем. Дифракционная решетка 5 установлена в фокусе зеркала 7 так, что ее элементы параллельны образующей зеркала. Диафрагма 6 установлена между цилиндрическим зеркалом 7 и дифракционной решеткой 5. Дифракционная решетка 5 и цилиндрическое зеркало 7 закреплены и обладаю способностью приводиться во вращательное движение конечными звеньями поверяемого мехашзма 8. Работает устройство следующим образом. Первоначально закрепляют и устанавливают дифракционную решетку 5 и цилиндрическое зеркало 7 на конечных звеньях поверяемого механизма 8 симметрично и перпендикулярно лазерному лучу. Эту операцию осугцёствяяют известнйм способом, наблюдая интерференцию лучей двух плеч интерферометра, одного плеча, ограниченного референтным зеркалом 3, а другого - цилиндрическим зеркалом 7. В дальней шем при измерении кинематической погрешности референтное зеркало 3 не используют. Лазерный ,падая перпендикулярно на дифракционную ренютку 5, диафрагирует iia лучи О, ± 1, ± 2 и т.д. порядков. С помощью диафрагмы 6 мы выбираем рабочие лучи. Пройдя диафрагму, ра€ючие лучи отражаются от цилинйрического зеркала 7 и в том же направлении возвращаются на дифракционную решетку 5. Проходя через репютку в обратном направлеНИИ они дифрагируют еще раз. В результате шбпюдйтель 4 может видеть интерференцию лучей дважды дифрагировавших на peuietke и распространяющихся перпендикулярно ей в обратном направлении. Если поверяемый механизм 8 не имеет кинематической погрешности то в этом случае цилиндрическое зеркало 7 дет вращаться ошхронно с дифракционной решеткой 5, не меняя своего положения относительно последней. Кинематическая погрешJMDCTb механизма вызовет поворот зеркала 7 относительно дифракционной решетки 5 что изменит направление отраженных лучей, а значит и интерференционную картину, фиксируе- мую наблюдателем 4. Чем дальше от оси враиюния зеркала 7 выбраны с помощью диафрагмы 6 интерферирующие лучи, тем более чувствительным будет это устройство при определении кинематической погрешности и наоборот. Таким образом, в зависимости от класса контролируемых механизмов можно менять чувствительность прибора, используя одну и ту же

схему. ;; --v.:- :.:,;::.:-.- /

Зшя радиус кривизны цилиндрического зеркала, параметры дифракционной решетки и длину волны лззерного излучения, по интерференционной картине, фиксируемой наблюдателем 4 на выходе интерферометра, известными прие1иами высчитывают кинематическую погрешность механизма.

Таким образом, предложенное устройство позволяет расшй{жть диапазон измерения кинематической погрецвюсти механизмов, так как может быть использовано как для контроля грубых, так и точных механизмов. :

Формула изобретения

Устройство для измерения кинематической погрешности механизмов, содержащее двухлучевой интерферометр и отражатели, закрепляемые га конечных звеньях механизма, отличающееся тем, что, с целью расил1рения дишазонт измере1шя кинематической погрешности, оно снабжено диафрагмой, установленной между отражателями, из которых выполнен в виде цилиндрического зеркала, другой - в виде дифракционной решетки, установленной в фокусе зеркала, так что элементы решетки параллельны обр азующей зеркала.

Источники информации, принятые во внимание при зкспертизе

1.Тойц Б. А. и др. Достижения в области средств контроля зубчатых передач.- Вестник шшийостроения, 1976, N 9, с. 55-60.

2.Авторское свидетельство СССР N 518618, кл. G 01 В 9/02, 1976.