Способ измерения давления в двухэлектродном электровакуумном приборе Советский патент 1976 года по МПК G01L21/30 

На KKfOR диода подается постоянный по ожитеяьный потенциал UQ /{isiuppa з ) переменный потенциатз 1/ -гармонической ормы, изменяющийся по захону

lU Ul «-GCStotV,®

в амплитуда переменного гармойчесжого потенциала U , Ш - кругс®ая частота переменного гармо

ического потенциала. Uo5Ш

% - текущее время (эпюра v },

При агом выполняется условие UQ Результирующий потенциал U катода складывается из постоянного попожителького потенциапа UQ и переменного гар- gg монического потенциала А Сэпюра §), Анод диода имеет постоянный потенциал Ug.|, равный нулю (эпюра г ),

Ускоренное движение термоэлектронов кагода к аноду диода 1 оберпеяивается оgg

интервале фаз . переменного потенциала Ц (см. фиго 1,.), когда потенциал U i катода становится ниже потенциала U анода (см, фиг. 1,© и с ) В фазах - .„ переменного я

U/ ci -, О -, я 1 ч-,S& -.-. /- (см, фиг, 1, d ) отбор

электронов с катода диода прекращается, так как потенциал UK катода становитг ся выше потенциала U,JQ анода :(эшоры. ), а электроны, вылетевшие из

катода в интервале фаз f - f (эпюра j. продолжают по инерции движение к аноду в тормозящем электрическом поле, Движе- ние электронов в направлении от катода к аноду полностью прекращается до фазы fg„,

и до фазы все электроны возвращаются на катод, потенциал которого Uj в интервале фаз 1,. - f выше потенциала U анода (эпюры& иг ). Фазовый интервал „ - f л, в течение которого проис-.. ходят описанные выше процессы,, меньше чем 2, k (эпюра i5), тем самым исключается возможность попадания термоэлек- . тронов катода на анод за период переменного гармонического потенциала U . В следующие периоды циклы повторяются, В своем движении от катоДа к аноду и обрат 1О термоэлектроны катода при соударении с молекулами газа производят ионизацию. Положительные ионы улавливаются анодом„ диода, имеющим отрицательный потенциал Ц по сравнению с потенциалом катода .

У в течение большей часги периода перетиенного гармонического потенциала Ц (эшоры Г , и и J ), Постоянная со ставлятощая ионного тока служит мерой давления.

Указанный электрический режим реализуется в принципиальной электрической схеме, приведенной на фиг. 2. Катод диода 1 находится под постоянным положительным потенциалом Uo источника напряжения смещения 2 и переменным гармоническим потенциалом U. генератора высокой частоты 3 Разделение источника напряжения смещения 2 и генератора высокой частоты 3 по переменному току осущес-твляется, например, с помощью дросселя 4., по постоянному - с помощью конденсатора 5. Для питания канала диода 1 используется источник напряжения накала 6. А,нод диода 1 имеет нулевой потенциал, так как по. пере.менному току соединяется с корпусом при помоши конденсатора 7, по постоянному - через измерительный прибор 8.

Ф о р м у л а и 3 о б р е те н и я

Способ измерения давления в двухэлекгродном электровакуумном приборе путем подачи На его электр€1ды напряжения и регистрации скорости образования ионов, воз-

I никающйх при взаимодействии электронов с молекулами газа, о т л и ч а ю щи йся тем, что, с целью повыщения точности измерения, между катодом и анодом прикладывают постоянное напряжение сме-

. щения положительной полярности на катоде и гармоническое, напряжение такой частоты которая обеспечивает колебатёйьнре Движение электронда без попада.ни на анод, а затем измеряют величину постоянной ср-

уставляющей ионного тока, пропорциональной измеряемому давлению.

Источники информации, принятые во внимание при экспертйзе:

1.Грошковский Я,. Технология высокого , вакуума, ИЛ, М., 1957, с.308 (протоSV . . .

:ТИП). : :

2.Коротченко В. А,, Соломенникова В. С Соломенников Г, В, Метод регистрации измерения давления в отпаянных диодах, Сб,

g Электроника, Труды Рязанског о радиотехнического института, вып.. 35, Рязань; 1973.