Блок объективной линзы эмиссионного электронного микроскопа Советский патент 1976 года по МПК H01J37/26 

линзы в канале полюсного наконечника 1 объективной линзы в атмосфере рабочего газа зажигается тлеющий разряд. При иодаче на объект 8 отрицательного напряжения происходит экстракция ионов из разрядного пространства и фокусировка их с помощью ионноОПТИЧ6СКОЙ системы, образованной диафрагмой катода 4 и объектом 8. Полученный ионный пучок бомбардирует участок объекта, находящийся на оптической оси объективной линзы. По окончании процесса травления снимают напряжение с анода устройства травления и объекта и затем производят исследование при требуемом рабочем режиме микроскопа.

Такая конструкция блока объективной линзы позволяет производить чистку и травление любых поверхностей, в том числе и с микрорельефом в рабочем положении при оптимальном падении ионного пучка. Устройство травления обеспечивает плотность ионного тока на объекте до 5 ма/см при диаметре обрабатываемого участка от 0,5 до 2,5 мм.

Формула изобретения

Блок объективной линзы, эмиссионного электронного микроскопа, содержащий магнитную линзу с полюсным наконечником, апертурную диафрагму и газоразрядное устройство травления объекта ионным пучком, отличающийся тем, что, с целью обеспе чения оптимальных условий травления, катод

устройства травления выполнен в виде цилиндрического стакана, расположенного и канале полюсного наконечника линзы, а анодом является стержневая часть держателя апертурной диафрагмы, причем конец стержня расположен в задней фокальной плоскости объективной линзы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.«Электронная микроскопия под ред. А. А. Лебедева, стр. 274-291, Москва, 1954 г.

2.Каталог фирмы «Carl Zeiss, Jena на электронный микроскоп EF-6, 1970 г. (прототип) .

КччЧЧучЧ З 8