Камера комбинированного автоэлектронного-автоионного микроскопа Советский патент 1976 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к области автоионной и автоэлектронной микроскопии и может быть использовано при создании приборов для исследования твердого тела на атомном уровне.

Известна конструкция автоионного-электронного микроскопа, выполненного в металле с высоковольтными вводами 1. Недостатком таких устройств является их сложность и громоздкость.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению является устройство камеры комбинированного автоэлектронного-автоионного микроскопа 2, содержащей цельнометаллический корпус, съемный экран и охлаждаемый цилиндр, укрепленный на держателе исследуемого образца.

Однако такое устройство сложно и при этом не обеспечивается высокая точность исследований.

Целью изобретения является повышение точности исследования и упрощение конструкции каморы.

Это достигается тем, что в предлагаемом микроскопе охлаждаемый цилиндр установлен с возможностью перемещения вдоль оси держателя, в камеру введены высоковольтные вводы, один из которых посредством скользящего контакта соединен с охлаждаемым цилиндром, а другой также посредством скользящего контакта соединен с проводящим слоем экрана, который электрически изолирован от корпуса стеклянным кольцом.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Здесь обозначено: 1 - люминесцентный слой экрана, 2 - проводящий слой экрана, 3 - коваровое кольцо, 4 - фланцевое уплотнение, 5 - стекло, 6 - высоковольтный ввод, 7 - скользящий контакт, 8 - высоковольтный ввод, 9 - скользящрп контакт, 10 - охлаждаемый цилиндр, 11-образец-острие, 12-ножка образца.

Устройство работает следующим образом.

Высокое наиряжение через высоковольтные вводы 6 и 8 при помощи скользящего контакта 7 подводится через коваровое кольцо 3 к проводящему слою 2 на экране, причем сам экран электрически изолирован от фланца, на котором он размен1ен, стеклянным кольцом, а для сохранения однородного поля у поверхности острия 11 на ножку 12 надевается охлажденный цилиндр 10, также соединенный скользящим контактом 9 с высоковольтным вводом 8.

Съемный экран выполнен следующим образом. Люминесцентный слой 1 нанесен на црозрачный проводящий слой 2, который находится в электрическом контакте с коваровым кольцом 3. Для электрической изоляции экра