Устройство для перемещения объекта Советский патент 1976 года по МПК F16K41/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТА

1

Изобретение относится к устройствам, используемым в оборудовании для производства изделий электронной техники, и может быть применено в напылительном вакуумном оборудовании, электронных микроскопах, а также измерительной технике.

Известны устройства для перемещения объекта, содержащие корпус и установленный в нем механический привод 13.

Недостатком этих устройств является

наличие кинематических пар с внешним трением, при этом имеется износ между трущимися поверхностями.

По технической сущности и достигаемому эффекту наиболее близким к предложенному изобретению является устройство для перемещения объекта, содержащее корпус и установленный в нем привод поступательного перемещения объекта, выполненный в виде двух пьезопреобразователей 2,

Такое устройство не обеспечивает возможности перемещения объекта по винтовой траектории.

Цель изобретения - перемещение объекта по винтовой траектории.

Это достигается тем, что предложенное устройство снабжено установленной между пьезопреобразователями упругой втулкой, направление оси которой совпадает с направлением поступательного перемещения объекта, составленной по периметру из единичных упругих элементов, каждый из которых расположен под углом к оси втулки, и установленным внутри упругой втулки дополнительным пьезопреобразователем, соединенным с ее торцами, с одним жестко, а с другим - упруго.

На чертеже изображен общий вид устройства.

Устройство содержит корпус 1, имеющий цилиндрическое отверстие, внутри которого расположены два пьезопреобразователя 2 и 3

Между пьезопреобрезователями 2 и 3 установлена упругая втулка 4, составленная из единичных упругих элементов 5, каждый из которых расположен под углом с к оси втулки, параллельной направлению поступательного перемещения объекта.

Внутри упругой втулки 4 установлен дополнительный пьезопреобразователь 6, который с одним торцом втулки 4 соединен . , жестко, а с другим - упруго через шарнир Каждый пьезопреобразоватепь 2, 3 и 6 соединен с источником тока 8, 9, 10 соответственно. Источники тока соединены с блоком программы 11. Пьезопреобразователи 2 и 3 содержат упругие оболочки 12, 13 с прорезями. Последовательной подачей напряжения на Пьезопреобразователи 2, 3 и 6 производится перемещение объекта 14 по заданной траектории. При этом полярность подаваемого напряжения определяет направление перемещения объекта.

Формула изобретения

Устройство для перемещения объекта, содержащее корпус и установленный в нем привод поступательного перемещения объек« 5

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;

2,Патент Великобриташ«1 1261523 кл. Н 2А, 26,01.72. 04 та, выполненный в виде двух пьезопреобразо-ватеяей, отличающееся тем, что, с целью перемещения объекта по винтовой траектории, оно снабжено установленной между пьезопреобразователями упругой втулкой, направление оси которой совпадает с направлением поступательного перемещения объекта, составленной по периметру из единичных упругих элементов, каждый из которых расположен под углом к оси втуЛ. ки, и установленным внутри упругой вту шеи дополнительным пьезопреобразователем, соединенным с ее торцами, с одним жестко, а с Другим упру:го.