Проекционный объектив Советский патент 1977 года по МПК G02B9/64 G02B13/24 

1

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к проекциоиным объективам, и может быть использовано в микроэлектронике как объектив фотоштампсж и фотоповторителей.

Известны проекционные объективы для фотоштампов и фотоповторителей, содержащие шесть компонентов и диафрагму, размешенную между вторым и третьим компонентами 1 . Этот объектив имеет недостаточную разрешающую способность.

Наиболее близким к предлагаемому является объектив, содержащий две группы линз с размещенной между ними диафрагмой, первая из которых состоит из двух компонентов, один из которых - склеенный ме1шск, обращешаш вогнутостью к , а вторая группа линз состоит из положительного склеенного мениска и двух одиночных положительных линз, за которыми установлен менисковьш компонент, обращенный вогнутостью к плоскости изображения 2.

Недостатком этого объектива является маЛая апертура, что не позволяет получить элементы модуля с-размером менее 1 мкм.

Цель изобретения - увеличение разрешающей способности.

Поставленная цель достигается тем, что первая группа линз снабжена отрицательным мениском, обращенным воп т остью к плоскости предмета и установленным перед первым компонентом, выполненным в виде двояксжыпуклой линзы с фокусным расстоянием, превышакнцим в два раза фокусыое расстояние объектива, а менисковый компонент второй группы, рассположенный цозади двух положительных линз, вьшолнен двухсклеенным, положительным, с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию объектива, фокусное расстояние первой группы линз в десять раз превышает фокусное расстояние второй группы линз, а расстояние между ними равно 0,2 фокусного расстояния всего объектива.

На чертеже представлена оптическая схема предложенного проекционного объектива.

Объектив содержит две группы линз 1 и 2 и расположенную между ними диафрагму 3. Группа линз 1 содержит одиночный отрицательный мениск 4, одиночную положительную линзу 5, поло-, жительную 6 и отрицательную 7 линзы, образующие двухсклеенный мениск 8, о ащенный вогнутостью