Проекционный объектив с увеличением-0,1 Советский патент 1981 года по МПК G02B9/64 

(54). ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ -0,1

Изобретение относится к оптичесКИМ системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.

Известен проекционный объектив, предназначенный .для аналогичных целей. Объектив работает с увеличением - 0,1 , опертурой 0,3 и линейным полем зрения 85 мм 1.

Недостатком данного объектива является малое поле зрения.

Известен также объектив, который работает с увеличением - 0,1, апертурой 0,3 и линейным полем зрения 60 мм 2.

Недостатком данного объекти.ва является малое поле зрения.

Наиболее близким к пре.цлагаемому является проекционный объектив, состоящий из семи компонентов, содержа1ЦИХ одиннадцать линз. Первый компонент положительная одиночная линза, второй - одиночный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий - двусклеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, пятый положительная двояковыпуклая линза,

шестой - отрицательный мениск и седьмой - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета. Объектив имеет апертуру 0,25 и линейное поле зрения 141 мм 3.

Недостатком объектива является малая апертура.

Цель изобретения - увеличение апертуры объектива и уменьшение дис0торсии.

Эта цель достигается тем, что в объектив введены положительный мениск, обращенный вогнутостью .к предмету, расположенный за четвертым ком5понентом, и положительный двухлинзовый мениск, обращенный вогнутостью к изображению и расположенный за пятым компонентом, шестой компонент выполнен двухлинзовым, .а расстояние между

0 вторым и третьим компонентом составляет 0,2-0у4 фокусного расстояния всего объектива.

На чертеже приведена оптическая схема объектива.

5

Первый компонент представляет собой положительную одиночную линзу 1 с соотношением радиусов 1:1,15.

Второй компонент - одиночный отрицательный мениск 2, обращенный

0 вогнутостью к изображению.

Третий компонент - отрицательный мениск, склеенный из двух линз 3 и 4 обращенный вогнутостью к предмету, выполненный из тяжелого флинта и сверхтяжелого крана, расстояние его от второго компонента составляет 0,2-0/4 фокусного расстояния всего объектива.

Четвертый компонент - положительный мениск 5, выполненный из сверхтяжелого крона,, обращенный вогнутостью к предмету. Позади него установлен положительный мениск 6, обращенный вогнутостью к предмету с соотношением радиусов 1:0,25.

Пятый компонент - положительная двояковыпуклая линза 7, выполненная из сверхтяжелого крона, с соотношением радиусов 1:3,6, Позади него установлен положительный мениск, склеенный из двух линз 8 и 9, обращенный вогнутостью к изображению, выполненный из тяжелого флинта и сверхтяжелого крона, разность показателей не превышает 0,0006, а разность коэффициентов дисперсии равна 22.

Шестой компонент - отрицательный мениск, склеенный из двух линз 10 и 11, обращенный вогнутостью к изображению.

Седьмой компонент - положительный мениск, склеенный из двух линз 1 и 13, обращенный вогнутостью к изображению.

Применение объектива дает возможность получить на поле 141 мм минимальный элемент в 1 мм, что -увеличивает производительность труда при использовании объектива в проекционных системах экспонирования.

Формула изобретения

Проекционный объектив с увеличением - 0,1 , содержащий семь компонентов, первым из которых служит положительная одиночная линза, вторым-одиночный отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, третьим - двухсклеенный мениск, обращенный вогнутостью к предмету, четвертым - положительный мениск, обращенный вогнутостью к предмету, пятым - положительная двояковыпуклая линза, шестым - отрицательный мениск и седьмым - положительный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, отличающийся тем, что, с целью увеличения апертуры объектива и уменьшения дисторсии, он снабжен положительным мениском, обращенным вогнутостью к предмету, расположенным за четвертьом компонентом, и г1оложительным двухлинзовым мениском, обращенным вогнутостью к предмету, расположенным за пятым компонентом, шестой компонент выполнен двухлинзовым, а расстояние между вторым и третьим компонентами составляет 0,2-0,4 фокусного расстояния всего объектива.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

кл. G 02 В 9/64, 1978 (прототип).

/ лоауегъ uja jfffftai