Проекционный объектив Советский патент 1979 года по МПК G02B11/34 G02B13/14 

(54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ

Изобретение относится к оптическим система а именно к проекционным объективам для про изводства полупроводниковых приборов. Известен проекционный объектив с увеличением - О,, содержащий две группы линз с расположенной между ними диафрагмой, первая из которых включает три компонента, а вторая - четыре, причем фокусное расстояние первой группы линз в десять раз превышает фокусное расстояние второй группы, а расстояние между ними равно 0,2,фокусного расстояния всего объектива 1 . Объектив имеет разрешение 0,6 мкм на всем поле диаметром 3 мм и работает в области волн Л - 425-445 нм. Недостатком этого объектива является малое разрешение. Кроме того, такой объектив работает только в- видимой области спектра. Известен также проекционный объектив, содержащий две группы линз с размещенной между ними апертурой диафрагмой, первая из которых включает два компонента, вторая четыре 2. Недостатками этого объектива являются малая светосила и небольшое разрешение 1100 ЛИН/ММ. Этот объектив также работает только в видимой области спектра. По технической сущности к предлагаемому проекционному объективу наиболее близок проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, двухсклеенную линзу, положительную двухсклеенную линзу, две одиночные положительные : линзы и положителыаш мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета 3. Недостатками такого объектива являются недостаточные вьгсокое поле зрения и разрешаюидая способность. Объектив работает при Л- 486-589 нм. Целью изобретения является увеличение поля зрения и разрешающей способности. Цель достигается тем, что в проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, двухсклеенную