Криогенный конденсационный насос Советский патент 1977 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике.

По основному авт. св. № 392268, известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размеш,енным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного жидким газом, а в зоне днища сосуда установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма, имеющая тепловой контакт с экраном.

В известном насосе время достижения предельного вакуума значительно вследствие длительного процесса перекондепсации газа.

Целью изобретения является сокращение времени достижения предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что охлаждаемый экран заключен внутрь колпака, имеющего полость, подключенную к трубке для залива хладагента, а в зоне днища сосуда установлена дополнительная диафрагма, имеющая с колпаком тепловой контакт и входящая внутрь основной диафрагмы.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1 с размещеиным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда 3, заполненного жидким газом, нанример гелием. В зоне днища 4 сосуда 3 установлена с минимальным зазором кольцевая основная диафрагма 5, имеющая тепловой контакт с экраном 2, который заключен внутрь колпака. 6, имеющего полость 7, подключенную к трубке 8 для залива хладагента, а в зоне днища 4 сосуда 3 установлена дополнительная диафрагма 9, имеющая с колпаком 6 тепловой контакт и

входящая внутрь основной диафрагмы 5. Колпак 6 снабжен электронагревателем 10.

Насос работает следующим образо1м. Полость насоса предварительно откачивают

вспомогательным насосом до давления ниже мм рт. ст. Затем откачку прекращают и заполняют сосуд 3 жидким гелием, а охлаждаемый экран 2 и полость 7 колпака 6-жидким азотом. Откачиваемый газ имеет доступ

к сосуду 3 только в зоне днища 4 сосуда 3

через отверстие дополнительной диафрагмы 9.

Если при работе насоса в откачиваемом

объеме происходит периодическое выделение

газов, например углекислого газа, которые могут конденсироваться на более ,«теплых деталях насоса (колпак 6, диафрагма 9), то колпак 6 отепляют путем удаления из его полости 7 жидкого азота и включения электронагревателя 10. Отепление более «теплых

деталей насоса до комнатной температуры

предотвращает возможноеть конденсации на них газов нрн падении вакуума в откачиваемом объеме и, следовательно, время восстановления предельного вакуума резко сокращается. После прекращения выделения в откачиваемом объеме углекислого газа полость 7 колпака 6 вновь заполняют жидким азотом. Охлажденный колпак 6 позволяет также снизить расход жидкого гелия, так как все пзлучение от стеиок, имеющих комиатную температуру, будет задерживаться охлажденным колпаком 6.

Таким образом, сокраи ается время получения предельного вакуума при малом расходе жидкого гелня.

Формула изобретення

Криогенный конденсационный насос по авт. св. № 392268, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, охлаждаемый экран заключен внутрь колпака, имеющего полость, подключенную к трубке для залива хладагента, а в зоне днища сосуда установлена дополнительная диафрагма, имеющая с колпаком тепловой контакт и входящая внутрь основной диафрагмы.

Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство .№ 392268, кл. F04B 37/08, 1974 г.