Криогенный конденсационный насос Советский патент 1984 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике.

По основному авт.св. № 392268 известен криогенный конденсационньщ касос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлс1ждаемого экрана откачивающим элементом, выполненный в виде сосуда. заполненного жидким газом, например гепием. В зоне днища сосуда установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма, имеющая тепловой контакт с экраном Г13°

Недостатком известного криогенного конденсационнога насоса являетс.я значительное время достижения предельного вакуума, вследствие длительного процесса переконденсации газа через узкую кольцевую щель между диафрагмой и днищем сосуда, что влияет на снижение эффективности откачки„

Целью изобретения является сокращение времени достижения предельного вакуума,

Указанная цель достигается тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус с размещенны нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементомJ выполненным,в виде сосуда, заполненного жидким газом, например гелием, установленную в зоне днищя сосуда с минимальным зазором колы1;евую диафрагму, имекнцую тепловой контакт с экраном, кольцева диафрагма имеет отверстие с клапаном принудительного действия.

На чертеже изображен предлагаемый насос„

Криогенньв конденсационный насос содержит корпус t с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом, вьшапненным в )зиде сосуда 3, заполненного жидким газом, например гелием. В зоне дншца сосуда 3 установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма 4, имеющая тепловой контакт с экраном 2. Кольцевая диафрагма 4 снабжена отверстием 5 с клапаном 6 принудительного действия. Залив жиддого газа осуществляется через патрубок 7,

Насос работает следующим образом.

Через патрубок 7 в сосуд 3 заливают ожиженный газ. Откачиваемый газ конденсируется на днище сосуда 3, имеющем найменьщую температуру.

В первоначальный период откачки, когда в откачиваемом объеме (на чертеже не показан) имеется повышенное давление газа, часть газа все же проникает через узкий кольцевой зазор между диафрагмой 4 и днищем и конденсируется на участках сосуда 3, у которых более высокая температура,чем самая низкая температура его днища. По мере понижения давления в откачиваемом объеме происходит перекачка газа, первоначально скон;: енсировавшегося на относительно тепльЬс поверхностях, через кольцевой зазор на наиболее холодную поверхность сосуда 3 (его днище).

Для того, чтобы сократить время переконденсации газа, в момент достижения давления в откачиваемом объеме до величины 1 мм.рт.с открьшается отверстие 5.

Поскольку отверстие 5 имеет достаточно большую площадь (в сотни раз превышакяцую площадь кольцевого зазора) , то через него происходит ускоренная перекачка газа, ранее сконденсировавшегося на более теплых поверх нсстях сосуда 3, на днище этого сосуда. I

Таким образом, выполнение отверстия в кольцевой диафрагме позволяет значительно ускорит процесс переконденсации газа, а следовательно, повысить эффективность откачки.

КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСА1ЩОННЫЙ НАСОС по авт.св. № 392268, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, кольцевая диафрагма имеет отверстие с клапаном принудительного действия.