1
Изобретение откосится к вакуумной технике.
Известны конденсационные насосы, содержащие корпус, внутри которого расположен откачивающий элемент в виде сосуда с хлад,агентом, защищенным от теплового излучения стенок корпуса экраном. В таких насосах откачиваемый газ имеет доступ к участкам откачивающего элемента насоса, у которых более высокая температура, чем самая низкая температура конденсирующей поверхности.
В результате, по мере понижения давления происходит перекачка газа, первоначально сконденсировавшегося из относительно тенлых поверхностях, на более холодные, что приводит к увеличению времени получения предельного вакуума насоса.
С целью сокращения времени получения предельного вакуума в предлагаемом насосе доступ таза к поверхностям, имеющим температуру, отличающуюся от самой низкой температуры откачивающей поверхности, ограничен путем установки диафрагмы. В отверстие ,ди.а4зрагмы опущено днище откачивающего элемента, причем расстояние между краями диафрагмы и поверхностью сосуда минимально. Диафрагма имеет тепловой контакт с охлаждаемым экраном.
Таким образом, откачка газа ведется только поверхностью днища сосуда, имеющей самую низкую температуру.
На чертеже показан предлагаемый насос.
Насос содержит корпус / с патрубками 2 для присоединения насоса к реципиенту. В корпусе расположен сосуд 5 (заполняемый жидким газом), окруженный охлаждаемым экраном . Запив жидкого азота в полость экрана осуществляется через трубки 5. Доступ откачиваемого газа к относительно теплым поверхностям сосуда ограничен диафрагмой 5.
Объем насоса откачивают вспомогательным насосом до давления го/э. Затем через трубку 5 в нолость экрана заливают жидкий азот и сосуд заполняют хладагентом, например жидким гелием.
Предмет изобретения
Криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного жидким газом, например гелием, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, в зоне днища сосуда установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма, имеющая тепловой контакт с экраном.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Криогенный конденсационный насос | 1983 |
|
SU1139886A2 |
Криогенный конденсационный насос | 1975 |
|
SU553357A2 |
Криогенный конденсационный насос | 1983 |
|
SU1125403A2 |
Криогенный двухступенчатый вакуумный насос | 1977 |
|
SU691600A1 |
Криогенный конденсационный насос | 1981 |
|
SU964226A1 |
Криогенный конденсационный насос | 1981 |
|
SU992814A2 |
Криогенный конденсационный насос | 1983 |
|
SU1110928A1 |
Криогенный вакуумный насос | 1981 |
|
SU954602A1 |
Криогенный конденсационный насос | 1981 |
|
SU992813A2 |
Криогенный конденсационный насос | 1988 |
|
SU1698482A1 |
Даты
1973-01-01—Публикация