нение емкости определяют с помощью моста перемеппого тока, а измепеппе интерферепцпоипой картппы фпкспруют лпбо впзуальпг), лпбо с помощьро фотоэлектрической системы.
Связь с подвижным объектом осуществляется е помощью наконечпика 14, который связан через пьезокерамический элеме т 15 с измерительным стержнем 10. Это необходимо для осуп,ествления дополнительных плавных перемещений измерительного стержня с иелью получения в центре поля зрения максимума интерференционной полосы, т. е. для получения расстояния между зеркалами интерферометра, кратного целому числу интерференционных полос.
Работает устройство поэтапно: определение коэффпциепта преобразования % емкостного преобразователя; измерение перемещепий.
Определение коэффициента х емкостного преобразователя сводится к следующему.
Наконечник измерительного стержня ириводится в контакт с опорпой поверхностью, путем плавного перемещения е помощью пьезокерамического элемепта получают в поле зрения максимум интерференционной иолосы и снимают значение емкости С° преобразователя. Далее задают известное пере.мещение (например, с помощью эталонной меры длиной L), снимают отсчет С° , предварительно установив с помощью пьезоке)амического элемеита в центре поля зреиия максимум ближайщей полосы, и определяют коэффпциент
-- иф/полосу,
где Ло-целое число порядка интерференции, которое определяют из соотнощепия
± 0 - -- при V.
дробная часть;
где р К
длина волны излучения применяемого источника света.
После того как определен коэффициент иреобразования, производят пепосредственно измерение перемещеиий.
Измерительный стержень устанавливают в исходное положение, плавным перемещением с помощью пьезокерамического элемента 15 добиваются получения макеимума ближайщей полосы и по устройству для измерения емкости снимают первый отсчет Ci. Затем перемещают стержень на измеряемое расстояние / и по устройству для измерения емкости снимают вгорой отсчет СгОпределяют приращение е.мкости AiC- - Cz-Ci и находят
yV, ± е - при г Ч„
у.
отбрасывая дробную часть s.
Далее дополнительным смещением стержня устанавливают в центре поля зрения интерферометра максимум ближайщей полосы и определяют дробную часть полосы
Д,С
Величина перемещений определяется из формулы
,:- .
Фор м у л а изобретения
Уетройетво для измерения перемещений, содержащее систему освещения с монохроматическим источником света, подвижное и неподвижное иитерференпионные зеркала, измерительный стержень, блок наблюдения интерференционной картины и блок определения целой части порядка интерференции, отличающееся тем, что, е целью расширения диацазона из.мерения, в него введен емкостной преобразователь, подвижный элемент которого евязан с подвижным зеркалом и измерительным стержием.
