Способ электронномикроскопического исследования замороженных образцов Советский патент 1977 года по МПК H01J37/26 

Изобретение касается электронномшсрос- копи 5еских исследований, в частности исследования микроструктуры замороженных образцов.

Известны способы исследования образцов g в растровом электронном микроскопе, основанные на сканировании поверхности образца электронным лучом и регистрация полученных сигналов l. Их сюновньтм недостатком при исследовании замороженных образцов IQ является нагрев последних электронным лу чом, а также возможное испарение замороженной влаги в условиях высокого рабочего вакуума.

Наиболее близким к предложенному является способ электронномикроскопического иоследования замороженных образцов, предусматривакядий предварительное покрттие образца проводящей защитной пленкой путем 20 вакуумного напыления 2.

Основным недостатком этого способа я ляется частичная сублимация замороженного объекта при напылении на его поверкность разогретого вещества.25

Целью изобретения является уменьшение сублимации замороженных образцов.

Это достигается тем, что в начальный период сканирования образца электронным лучом производят однократную подачу на поверхность образца углеводородсодержаш&г.о газе

Замороженный образец помещают в элек тронный микроскоп и одновременно с включением электронного пучка на поверхность образца производят однократную подачу угл&водородсодержашего газа. При этом влек-; тронный пучок взаимодействует с молекул ми газа, и в результате происходит их распад, а углерод в виде тонкой пленки осаждается на образце. Подача газа может осуществляться различными способами, например, по трубкам; или размещением рядом с обршэцом капсулы с углеводородным веществом, .нмеклцим высокое давление паров. Капсула Должна иметь крышку, которая открывается на короткое время. Толщина пленки зависит от количества подаваемого газа и врекшни воздействия электронным пучком. После

3

образования пленки нужной толщины подачу чающийся тем, что, с целью уменьгаза прекрашают и исследуют образен.шения сублимации замороженных образцов, Формула изобретения 5 подачу на поверхность образца углеводоропСпособ элактронномикроскопического ис- Источники информации, принятые во вни

следования замороженных образцов с помо- мание при экспертизе:

шью растрового электронного микроскопа,1. Хокс П., Электронная оптика и эле

включающий покрытие образца защитной тронная ктакросксятия, М,, Мир, 1974, кой, сканирование его электронным лучом и с, 217. регистраиию полученных сигналов, о т л и-2i3E02 News 12, № 2,26,1974.

579126

в начальный период сканирования образца электронным лучом производят однократную

содержащего газа.