Диэлектрическая вакуумная паста Советский патент 1977 года по МПК H01L21/473 

I

Изобретение относится к электронно1( технике и может быть использовано для полу чення диэлектрических покрытий, включая герметизирующие покрытия, например, в гд эораэрядных индикаторных панелях (ГИП) методом тр аретной печати.

Известна диэлектрическая вакуумная паота, применяемая в вакуукгаой технике для трафаретной печати l. В качестве органической компоненты в ней используется смесь канифоли, вакуумного маспа и ланол на.

Однако известная i 1ста имеет высокую температуру выгорания.

При спекании пасты происходит недостаточное выгорание органической компоненты в образовавшемся диэлектрическом слое, что приводит к получейгню.непрозрачного диэлектрического покрытия ; и появлению ftop, ведущих к нарушению герметичности югр бора. Количество оставшейся в слое орган веской связки зависит от текшературз ее ра ожения и ограничивается технологией изготовления приборов. С ростом гв тврагу

рь и длительности выжигания количество органической связки уменьшается.

Температура выгорания органической ев ,аки ограничивается или уе шературой герм&тизацяи материала герметика, превыи1ение которой вызывает наруи1енке герметичности или температурой размягчения оболочки прибора, выше которой невозможно проводить выжигание органического компонента.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является диэлектрическая вакуумная паста, содержащая легкоплавкое стекло или стеклокрнсталлический цемент и органическое связующее 2J.

Паста содержит в качестве органической компоненты 1,5-ный раствор нитрюклетчаткв в амилацетате или поливинилбутераль. Эти пасты соответствуют вакуумным требованиям но непригодны для получения покрытий методом трафаретной печати иэ-за быстрого высыхания, их и выхода из строя трафарета.

Цель изобретения - уменьшение скорости высыхания пасты перед tepMOo6pa6oTKOlt

Для 0ТОГО в качестве органического CBS ЖСКгаого используют пак va основе акряловы

смол в количестве 25-50% от обшего весА пасты.

Медленная испаряемость лака позволяет через один трафарет получить более ЗОО отпечатков, в низкая .температура разложения о позволяет достигать более полного его выгорания и , следовательно, лучших вакуумных свойств. Э условиях ионной бомбардировки диэлектрические покрытия рабочих частей электродов из предлагаемой пасты не разру- 0 шаются.

Пример. На стеклянные пластины размером 130x120 мм с пленочными металлическими электродами методом трафаретной 15 печати наносят слой диэлектрической пасты толщиной 55 мкм, состоящей из 60% легкоплавкого стекла П 39 и 4О% лака АС 5114, Затем стеклянные пластины подвергают термообработке при в течение 1 ч, в -20 результате чего образуется прозрачное диэлектрическое покрытие толщиной 25 мкм i 12%.

По периметру пластин с диэлек рическим покрытием методом трафаретной печати на- 25 носят слой пасты шириной 3,5 мм и толщиной 2ОО мкм, состоящий из 7О% кристаллического стекла СЦ84-1 и 30% лака АС5114. При ЗОО С в течении ч проводят выжигание органической компоненты. 30 После выжигания органической компоненты две пластины соединяют между собой через слой пасты и герметизируют при 450 С. Макеты наполняют рабочим газом и испытывают на долговечность по электрическим параметрам.

После 1000 ч работы электрические параметры не изменяются, что свидетельствует о том, что рабочая среда в макетах под действием газового разряда не изменилась, т.е. диэлектрическая паста обладает вакуум-, ными свойствами в процессе работы прибора.

Описываемая диэлектр ГЧеская вакуумная паста позволяет получить диэлектрические и герметизирующие покрытия в производстве, газоразрядных индикаторных панелей методом трафаретной печати и,обеспечивает увеличение производительности труда в несколько десятков раз.

Формула изобретения

11иэлектрическая вакуумная паста, содержашая легкоплавкое стекло или стеклокристаллический цемент и органическое связук щее, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения скорости высыхания пасты перед термообработкой, в качестве Орган ческого связующего используют лак на основе акриловых смол в количестве от общего веса пасты.

Источники информации, принятые во вн( мание при экспертизе:

1.Авторское свидетельство СССР i 439505, кл. С 08L91/OO, 1970.

2.Патент США № 3778242, кл. , опубпик. 1973.