Способ формирования слоя фоторезиста Советский патент 1977 года по МПК G03C1/74 

экрана 5, дозатора 6 с фоторезистором, системы 7 подачи давления, клапана 8 подачи фоторезиста.

Окисленные кремниевые пластины 9 с низкой заранее определенной дефектностью окисла закрепляются на столике 3 центрифуги 2. Опускается и закрывается колпак камеры 1.

Последовательность операций и параметры режимов следующие:

1)с помощью клапана 8 фоторезист марки ФП-383 или ФП-РН7 выдается из дозатора 6 на пластину в количестве 0,2-0,3 мл;

2)включается центрифуга 2 на 30 сек. Скорость центрифугирования 1500 об/мин;

3)одновременно с включением центрифуги в камере 1 создается давление газа порядка 5-6 ати;

4)после остановки центрифуги пластина выдерживается под указанным давлением до термообработки. Время хранения от О до 10 мин;

5)термообработка фотослоя проводится под давлением газа от 0,5 ати до давления, не превышающего значения, при котором происходит изменение свойств подложки, в камере при температуре 110°С в течение 5 мин;

6)после отключения элемента 4 пластина охлаждается включением центрифуги в течение 1 мин ( об/мин). После этого давление в камере снижается и пластина извлекается.

Цель последующей обработки сформированной пленки фоторезиста - исследование дефектности слоя окисла, создаваемой дефектами фоторезиста. Оценка проводилась с использованием метода электрографии. Установленная при этом дефектность для предлагаемого способа 0,005-0,01 проколов/мм.

Панесение слоя фоторезиста на подложку под избыточным давлением в пределах от 0,3 ати до давления, вызывающего изменение физических свойств подложки, снижает также дефектность при использовании методов

окунания, пульверизации и полива.

Формула изобретения

Способ формирования слоя фоторезиста, включающий нанесение слоя фоторезиста на подложку в условиях избыточного давления, отличающийся тем, что, с целью снижения дефектности слоя фоторезиста, нанесение его осуществляют при давлении на подложку в пределах от 0,3 ати до давления, не превытающего значения, при котором происходит изменение физических свойств подложки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР №303993, кл. G ОЗС 1/74, 10.11.69.