Устройство для осаждения слоев из газовой фазы Советский патент 1977 года по МПК B01J17/32 

1

Изобретение относится к устройствам для осаждения слоев из газовой фазы монокристаллических структур полупроводников и может быть использовано в полупроводниковой нромышленности.

Известны устройства для эпитаксиального выращивания полупроводниковых слоев из газовой фазы вертикального типа с цилиндрическим подложкодержателем и индукционным нагревателем 1.

Наиболее близким по технической сущности к описываемому является устройство 2, включающее вертикальный водоохлаждаемый корпус, внутри которого установлен подложкодержатель, натрубки для ввода и вывода газов и индукционный нагреватель.

Основным недостатком устройства является то, что при подаче газа из патрубка меньшего сечения в вертикальный корпус с большим сечением, происходит гидравлический удар, в верхней части корпуса образуются застойные зоны: малая турбулизация газового потока приводит к ухудшению тепло- и массопереноса в корпусе.

Целью изобретения является увеличение турбулизацни газового потока и улучшение тенло- и массообмена. Цель обеспечивается за счет выполнения корпуса в виде усеченного конуса с сужением кверху и установкой его на усеченном конусе с сужением книзу, размещения в верхней части корпуса завихрителя газа, соединенного с патрубком нодачи газа, выполнения нодложкодержателя в виде конусообразной спирали.

Завихритель выполнен в виде концентрически расположенных цилиндров, между которыми установлены элементы под углом к оси корпуса, образующие каналы, суммарная площадь проходного сечения которых меньще площади проходного сечения внутреннего цилиндра.; .

Ца чертеже изображен поперечный разрез устройства.

Устройство включает корпус 1, выполненный в виде усеченного конуса с сужением кверху, и установленный на усеченном конусе. 2 с сужением, книзу. Оба конуса Ги 2 снабжены рубащкой охлаждения 3, через которук пропускают воду. В верхней части корпуса 1 размещен завихритель газа 4, выполненный в виде концентрически располол :енных цилиндров 5 и 6, между которыми установлены элементы, образующие каналы 7 под углом к осн корпуса. Завихритель соединен с патрубком 8 нодачи газа, а для вывода газа служит патрубок 9.

Внутри корпуса 1 на штоке 10 установлен подложкодержатель 11, выполненный в виде

конусообразной спирали, на которой устанав