Датчик механических усилий Советский патент 1977 года по МПК G01L1/12 G01L19/08 G01L13/06 

(54) ДАТЧИК МЕХАНИЧЕСКИХ УСИЛИЙ ной пленки вакуумным напылением контакт- него материала, например серебра. Датчик механических усилий работает следующим образом. При отсутствии измеряемого усилия вектор намагниченности тонкой магнитной пленки расположен в нее плоскости под углом 45 к направлению тока входных контактов. Измеряемое усилие прикладывается к подложке и снижает ее параллельно поверхности тонкой магнитной пленки вдоль либо поперек направления входного тока. Под де ствием измеряемого усилия возникает упругая деформация подложки, в результате которой вектор намагниченности поворачивает ся в плоскости тонкой магнитной пленки на угол, пропорциональный измеряемому усилию В случае применения пленки никеля йоворот заканчивается, когда направление векто ра намагниченности совпадет с направле- нием измеряемого усилия. Э.Д.С., возникающая при этом на выходных электрических контактах, измеряются обычным способом, например компенсационным. При снятии измеряемого усилия, вектор намагниченности возвращается в исходное положение. Путем изменения величины входного тока регулируют чувствительность прибора. Используя датчики механических усилий с разной толщиной подложки, меняют пределы измеряемьвс усилий. Формула изобрете ни я Датчик механических усилий, содержащий пленочный чувствительный элемент и моно- кристаллическую изоляционную подложку, отличающийся тем, что, с целью упрощения устройства, в качестве чу&ствительного элемента использована монокристаллическая тонкая магнитная пленка металла с расположенными в ее плоскости (ОСЯМИ легкого намагничивания, снабженная по кромкам четырьмя электрическими контактами, расположенными попарно друг против друга. Источники информации, принятые во внимание при«экспертизе: 1.Кобус А. и Тушинский Я. Датчики Холла и магнниторезисуоры Энергия, 2.Авторское свидетельство СССР № 503153, кл. Q- 01 L 19/08, 1975.