Гальваномагнитный датчик механических усилий Советский патент 1980 года по МПК G01L1/12 

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения сил и моментов.

Известен гальваномагнитный датчик механических усилий, представляющий 5 собой датчик Холла в пленочном исполнении

Недостатком этого датчика является низкая чувствительность.

Известен также гальваномагнитный 10 датчик механических усилий, содержащий диэлектрическую подложку, пленку из анизотропного магнитного материала, два входных и два выходных контакта 2.15

Недостатком этого датчика является низкая чувствительность, обусловленная тем, что при деформации пленки вращение векторов намагниченности происходит в плоскости пленки, что 20 приводит к незначительным изменениям напряжения Холла.

Цель изобретения - повышение чувствительности.

1оставленная цель достигается тем,25 что в гальваномагнитном датчике механических усилий, содержащем диэлектрическую подложку, пленку из анизотропного магнитного материала, два входных и два выходных контакта, плей

ка выполнена из магнитного материала, имеющего поперечное к поверхности пленки направление легкого намагничивания.

На чертеже показан гальваномагнитный датчик механических усилий, общий вид.

Устройство содержит диэлектрическую монокристаллическую подложку 1, пленку 2 из магнитного материала, входные (токовые) контакты 3, выходные (холловские) контакты 4, ось ОЛН легкого намагничивания пленки.

Подложка может быть изготовлена из изоляционного материала, например окиси магния (МдО),пленка .цля реали- зации закритического состояния, т.е. выхода вектора намагниченности из плоскости пленки может быть изготовлена из сплавов с большой магнитострикцией и большим значением ЭДС Холла, например сплавов никеля и палл.адия в большом диапазоне кон.центраций.

Датчик механических усилий работает следующим Образом.

При отсутствии измеряемого усилия векэгор намагниченности расположен по нормали или в положении под углом 9 к поверхности плеики. Это при