Термостатиреванный тензорезистор Советский патент 1977 года по МПК G01B7/16 

Описание патента на изобретение SU574602A1

(54) ТЕРМОСТАТИРОВАННЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОР

TOiB 5 и 6, т. е. к восстановлению прежнего значения температуры.

Тонкопленочное исполнение нагревательных элементов, тензоэлемента, термоэлемента и изоляционных слоев .ввиду их малой массы позволяет получить быстродействующую систему стабилизации температуры тензоэлемента, а следовательно, и повышение точности измерения в условиях быстроменяющихся температур за счет исключения температурной погрешности.

Формула изобретен и я

Те,рмостатированный тензорезистор, содержащий тензоэлемент, диэлектрический слой.

обхватывающий тензоэлемент, гермоэломент; размещенный на диэлектрическом слое, второй диэлектрический слой, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы, обхватывающие тензоэлемент и термоэлемент, о тличающийся тем, что, с целью повыщепия точности измерения, тензоэлемент, диэлектрические слои, термоэлемент и нагревательные элементы выполнены в виде тонких пленок.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 434284, кл. G 01В 1/18, 1972.

2.Патент ФРГ № 832689, кл. 42К 45/03, 1950.

Похожие патенты SU574602A1

название год авторы номер документа
Способ группового изготовления полупроводниковых чувствительных тензоэлементов 1983
  • Борщев Вячеслав Николаевич
  • Осипов Виктор Алексеевич
  • Спалек Юрий Михайлович
  • Тихомиров Михаил Юрьевич
  • Харенко Константин Юрьевич
SU1259104A1
Малобазный тензодатчик 1985
  • Седых Николай Кузьмич
  • Родин Владимир Александрович
SU1263996A1
Устройство для измерения параметров среды 1981
  • Дроздов Валентин Алексеевич
  • Костенко Сергей Петрович
  • Сафонов Владимир Александрович
SU1029011A1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Васильева Светлана Александровна
  • Громков Николай Валентинович
RU2397460C1
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Васильева Светлана Александровна
  • Громков Николай Валентинович
  • Тихонов Анатолий Иванович
RU2391640C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ И ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Чернов Павел Сергеевич
RU2398195C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С ТОНКОПЛЕНОЧНЫМИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРАМИ 2010
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Чернов Павел Сергеевич
RU2411474C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ И НАДЕЖНОСТИ 2012
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Хованов Дмитрий Михайлович
RU2480723C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ БАЛОЧНОГО ТИПА 2012
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Кондратьев Андрей Владимирович
RU2520943C2
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ПОВЫШЕННОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С ТОНКОПЛЕНОЧНЫМИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРАМИ 2010
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Запевалин Александр Иванович
  • Чернов Павел Сергеевич
RU2427810C1

Иллюстрации к изобретению SU 574 602 A1

Реферат патента 1977 года Термостатиреванный тензорезистор

Формула изобретения SU 574 602 A1

SU 574 602 A1

Авторы

Богатов Павел Николаевич

Борщев Вячеслав Николаевич

Харитонов Виталий Павлович

Спалек Юрий Михайлович

Манышев Эдуард Борисович

Даты

1977-09-30Публикация

1976-05-14Подача