Датчик давления Советский патент 1977 года по МПК G01L9/00 

(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

1

Изобретение относится к контропьно-измрйтельной технике и предназначено для измрений давпения в области высоких температур. ,

Известны датчики давления, испопьзук щие механические перемеще 1ия эпектродов в вакуумированном приборе Ш.

Однако они включают большое число деталей, что снижает их надежность.

Наиболее близким к изобретению явпяется устройство, содержащее корпус с неподвижным электродом и мембрану с подвижнь1м электродом. Один из электродов снабжен источником альфа-част1щ, создающи ионный электрический ток между электродами. Под действием давления, которое подается во внутреннюю полость корпуса, мембрана прогибается наружу, расстояние между электродами меняется, что приводит к именению ионного тока, который измеряется прибором в цепи электродов 2 .

Однако такие приборы чувствительны к изменению температуры, что исключает возможность их применения при высоких температурах.

Цель изобретения-расширение диапазона рабочих температур устройства.

Для этого неподвижный электрод снабже нагревателем, а внутрення полость вакуумирована.

На фиг. 1 схематические изоб1 ажено преложенное устройство в разрезе: на фиг. 2 разрез А-А фиг. 1.

Датчик давления содержит корпус 1, мембрану 2, анод 3, катод 4, нагреватель 5, токопроводы 6, электрические контакты 7 и подложку 8. Мембрана с тонкопленочным анодом и токопроводом, соединяющим анод с электрическим контактом, запаяна в корпус, где на подложке размешен тонкопленочный нагреватель, закрытый сверху оксидным пленочным катодом. Нагреватель и катод соединены токопроиодами с двумя другими электрическими контактами.

Прибор действует следующим образом.

При включении электрических контактов в соответствующие цепи между анодом и катодом.протекает электрический ток, зависящий от расстояния анодом и катодом.

Давлетяне окружающей соецы создайт прнгиб мембраны, что приводит к изменению указанного расстояния я соответствующему изменению электрического тока. Поскольку межэлектродное расстояние вакуумировано, прибор измеряет абсолютное давление.

формула изобретения

Датчик давления, содержащий корнус с неподвижным электродом и мембрану с под вижным электродом, о т л и ч а ю ш и i с я тем, что, с целью расширения диапазона рабочих температур, неподвижный электрид снабжен подогревателегчд, а внутрення полость вакуумирована,

Ист ччники информации, принятые во вни .мание при экспертизе:

1,Берлин Г. С. Электронные приборы с механическими управляемыми электродами

М., Энергия, 1971, с. 106.

2,Авторское свидетельство СССР кл, G 01 U 21/36, № 84118, 1949.