Изoбpefeниe относится к полупроводяиковой технике и конструированшо интегральных схем и предназначено для контроля и измерения параметров проводящих пленок.
Известны устройства l для абсолютного контроля сопротивления полупроводниковых материалов и металлических пленок контактными зондовыми методами и устройства для бесконтактного относительного контроля параметров полупроводниковых и диэлектрических ..материалов, основанные на использовании емкостных накладных преобразователей.
Известно также устргайство 2 для бесконтактного контроля сопротивлений проводящих материалов, основанное на использовании емкостных накладных преобразователей с устранением влияния зазора между измерительными электродами и образцом, содержащее генератор, измерительный блок, измерительный емкостный преобразователь с двумя накладными электродами, резонансный контур.
Для всех этих устройств характерна относительная методика измерения: результаты измерения сравниваются с результатами измерения эталонных образцов. Значительное влияние на результаты измерений оказывает присутствие проводящих тел в частности металлического вагревателя вблизи пленки. Также влиян1ш О1и:зывавт изменение величины зазора между образцом и измерительными электродами в процессе измерения различных образцов. Это наиболее существенно при малых зазорах, которые необходимы для осуществления однородного поля в зазоре и для отстройки от присутствия посторонних тел, мешающее влияние которых особенно сказывается при измерении параметров тонких. пленок.
Цель изобретения - повышение точности измерений путем устранения влияния окружающих токопроводящих тел.
Это достигается тем, что в предлагаемое устройство сведён второй резонансный контур, в емкостный преобразователь введен третий электрод, соединенный через индикатор с корпусом, причем один резонансный контур подключен между элек тродом преобразователя и корпусом, а дру гой - между другим электродом преобразователя и измерительным блоком. На чертеже представлена схема предлагаемого устройства. Устройство содержит генератор 1, измерительный блок 2, например мост, изме рительный емкостный преобразователь 3, пе1юый 4 и второй 5 измерительные электроды, третий электрод 6, индикатор 7, подложку 8, металлический нагреватель 9, подстроечный конденсатор 10 и индуктивность 11 резонансного контура первого электрода 4, подстроечный конденсатор 12 и индуктивность 13 резонансного контура второго электрода 5, емкости 14 и 15 зазоров. Устройства работает следующим образом. Устанавливая контур 11, 1О и 14 в резонанс по минимуму индикатора 7, добиваются минимального потенциала на плен ке 8 относительно земли. Подстроенным конденсаторам 12 добиваются максимума индикатора 7, что означает резонанс тока во всей измерительной цепи 1О, 11, 14, 15, 12, 13. Таким образом, компенсируя реактивную составляющую сопротивления измерительного емкостного преобра зователя 3 с последовательно соединенны ми {эезонансными контурами, устраняют влияние емкостей 14 и 15 зазора, одновременно поддерживая потенциал пленки относительно земли минимальным, чем устраняется влияние внешних факторов, в частности металлического заземленного нагревателя 9, и значительно снижается влияние паразитных потерь в окружающей среде. После настройки активное сопротив ление емкостного преобразователя с настроенными резонансными контурами измеряется при помощи измерительного блока 2, например измерительного моста, и поспе учета заранее измеренных потерь в катушках и конденсаторах оно равно поверх костному сопротивлению участка пленки, расположенного .между измерительными электродами 4 и 5. Рабочая частота генератора определяется параметрами контуров 10, 11, 14 и 12, 13, 15, все соответствующие элементы которых желательно подбирать тождественными, а для увеличения емкостей зазора и упрощения методики измерения в зазоре рекомендуется поместить тойкую диэлектрическую пленку. Формула изобретения Устройство для бесконтактного измерения сопротивления провоаялшх пленок, соа держащее i- нератор, измерштельный блок, измерительный емкостный преобразователь с двумя накладными электродами, резонанс. ный контур, отличающееся тем, что, с целью повыщения точности измерений путем устранения влияния окружающих токопровод5пцих тел, Б устройство введен второй {эезонансный контур, в емкостный преобразователь введен третий электрод, соединенный через индикатор с корпусом, причем один резонансный контур подключен между электродом преобразователя и корпусом, а другой - между другим электродом преобразователя и измерительным блоком. Источники инфор)мации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 196998, кл. Q О1 R 31/16, 31.05.67. 2.Авторское свидетельство СССР № 314159, кл. Q 01 I 31/22, 02.12.67.
(
45
ib
8
