Устройство для испытания интегральных схем Советский патент 1977 года по МПК H01L21/66 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и предназначено для проведения климатических испытаний интегральных схем.

Известно устройство для испытания интегральных схем, содержащее контактное устройство, корпус, снабженный поворотным и фиксирующим устройствами и систему управления и измерения.

В этом устройстве размещение интегральных схем осуществляется непосредственно в корпусе, периодически поворачивающемся относительно перемещающегося контактного устройства. Учитывая необходимость одновременного испытания значительного количества интегральных схем и их частую перезарядку, такое размещение интегральных схем затрудняет процесс перезарядки, а перемещающееся относительно корпуса контактное устройство имеет малую надежность из-за большого числа изгибов подсоединительного кабеля.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является устройство для испытаний интегральных схем, содержащее контактное устройство, корпус, снабженный поворотно-фиксирующим механизмом, носители интегральных схем, систему управления и измерения.

Носители интегральных схем известного устройства жестко закреплены на корпусе, которыи через скользящие контакты связан с системой измерения. Наличие скользящих контактов снижает надежность работы известного устройства.

Целью изобретения является повыщение надежности устройства.

Указанная цель достигается тем, что носители интегральных схем закреплены на пружинных подвесках в съемных кассетах корпуса с возможностью радиального перемещения на позиции контактирования.

На чертеже схематически изобран-сено нредложенное устройство, общий вид с частичными вырезами для лучшего показа конструкции.

Устройство содержит корпус 1, контактное устройство 2, кассеты 3 с носителями 4 интегральных схем, поворотный пневмоцилиндр 5, фиксирующий иневмоцилиндр 6, прижимной пневмоцилиндр 7, пружинные подвески 8.

Устройство для испытания интегральных схем работает следз ющим образом.

Интегральную cxeMj закрепляют в носителях 4, которые с помощью пружинных подвесок 8 устанавливают в съемных кассетах 3, размещенных в корпусе 1.

Носле фиксации корпуса 1 фиксирующнм пневмоцилиндром 6 производится прпжим носителей интегральных схем к контактному зстройству 2 при помопл,и системы рычагов от