Способ измерения параметров шероховатости поверхности электропроводных изделий Советский патент 1978 года по МПК G01B7/34 

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ ИЗДЕЛИЙ мой исследуемой поверхности. Это сни жает точность измерения параметров шероховатости поверхности и делает практически невозможным его использо вание для определения параметров . субг-шкронеровностей, которыми в основном определяется полная реальная плсмдадь поверхности. Даль изобретения - повышение точности измерения при определении параметров шероховатости поверхности электропроводных изделий. Это достигается тем, что изделие подключают к отрицательному полюсу источника питания, а параметры шероховатости определяют из соотношений . r6,a3. 3,, ( м 5«(И-Р)5 где 3 ток автоэлектронной эмиссии -работа ВЕзхода материал изделия; -номинальная площадь измеряемой поверхности -напряженность электрического поля; -средний квадрат тангенсов углов наклона боковых сторон микронеровностей; - полная реальная площадь измеряемой поверхности. Сущность предлагаемого способа за лючается в том, что исследуемую поверхность электропроводного изделия включают в электрическую цепь катода что позволяет использовать явление автоэмиссии с суб- и микроострий самой исследуемой поверхности, а не с искусственно созданного острия. Обра ботка результатов измерений автоэмис сионных токов по приведенньши соотношениям позволяет определить параметр шероховатости и полную площадь шероховатой поверхности с учетом всех, даже самых малых, субмикронеровностей. Формула изобретения Способ измерения параметров шероховатости поверхности электропроводных изделий, заключаюпц йся в том, что помещают измеряемое изделие в вакуумную камеру с измерительным электродом, устанавливают измерительный электрод на фиксированном расстоянии от измеряемой поверхности, подключают иэделие и измерительный электрод к разным полюсам источника питания и по величине тока автоэлектронной эмиссии судят о параметрах шероховатости, отли ч ающи и с я тем, что, с целью повышения точности измерения, изделие подключают к отрицательному полюсу источника питания, а параметры шероховатости определяют из соотношений t 3.78 (ItP) Г б Э-ioV П srrrirr-- exp -(it4p2)E, 0V(i+p)3 -ток автоэлектронной эмиссии; -работа выхода материала изделия; -номинальная площадь измеряемой поверхности; -напряженность электрического поля; - средний квадрат тангенсов углов наклона бокоBtsx сторон микронеровностей г - полная реальная площадь измеряемой поверхности. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Грег С., Синг К. Адсорбция, удельная поверхность, пористость. М., Мир, 1970. 2. Приборы для научных исследований, №,7, 1972, с. 86.