Способ индикации напыленных металлических пленок Советский патент 1985 года по МПК G01B7/06 G01B7/34 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в областях, где возможно по явление напыленных металлических пленок в результате воздействия ион ной бомбардировки, пробоев вакуума и работы накаленных катодов.

Цель изобретения - повышение разрешающей способности обнаружения напыленной пленки, что позволяет улучшить характеристики электровакуумных приборов и установок.

На фиг.1 приведена схема устройства, с помощью которого реализуетс предлагаемьй способ-, на фиг.2 - хахарак- еристики автоэлектронных токо (Фаулера-Нордгейма) с аномальными участками после выдержки напыленной пленки в остаточном вакууме; на фиг.З - то же, для случая, когда насьш ение пленки осуществляется за счет контакта напыленной пленки с атмосферой воздуха.

К исследуемой поверхности 1, на которой индуцируется металлическая напыпенная пленка, подводится измерительный электрод 2 на расстоянии . h в несколько миллиметров. Исследуемую поверхность подключают к отрицательному полюсу источника 3 питания, а измерительный электрод к положительному полюсу через токовый прибор 4. Если напыленная пленка не насыщена газом, то создают условия поглощения пленкой неинертного газа. Эта процедура зависит от условий работающей установки, где индицируется оленка и может включать вьщержку в остаточном вакууме или впуск атмосферы. Между поверхностью 1 и электродом 2 создается высокий вакуум, измеряют автоэлектронные токи с исследуемой поверхности и. строят, характеристики Фаулера-Нордгейма. На фиг.2 и 3 видна ярко выраженная аномалия, которая возникает лишь при наличии металлической напыленной пленки. Измерения проводятся при фиксированной длине вакуумного промежутка h; измерение с другими h влияет на диапазон автоэлектронных. Токов, где наблюдается ано малия.

trt77

50

,1. СПОСОБ ИНДИКАЦИИ НАПЬЬ , ЛЕННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что контролируемую поверхность и измерительный электрод помещают в вакуум, .к контролируемой поверхности подключают отрицательный полюс источника напряжения, а к измерительному электроду - положительный и снимают зависимость автоэлектронного тока от напряженности электрического поля, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, контролируемую поверхность предварительно насьщают неинертным газом, измеряют автоэлектронные токи при фиксированном промежутке между контролируемой поверхностью и измерительным электродом, а о наличии напыленной металлической пленки судят по появлению аномального участка зависимости авто.9 электронного тока от напряженности (Л электрического поля. 2. Способ по П.1, о т л и ч а.ющ и и с я тем, что контролируемую поверхность насыщают газом при взаимодействии с атмосферой. О) СП