Способ измерения шероховатостипОВЕРХНОСТи Советский патент 1981 года по МПК G01B7/34 

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения шероховатости поверхности при помощи электрических методов, например, для индикаци рельефа изделий или формирующих плено для шщикании рельефа поверхностей высоковольтных вак;уумнь(х установок тип инжекторов, ускорителей и т.н. в процессе их работы. Известен способ измерения параметро шероховатости, основанный на адсорбцио ном методе и позволяющий определить полную площадь шероховатостей поверхно ти, где используется явление адсорбции молекул газа или ионов водород.а, точно реапфующих на микрорельеф поверхности и. Недостатком известного метода является примггнимость его к ограниченном числу металлов и явление анизотропии адсорбционных свойств по поверхности исследуомо1о «rrafiJia. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ измерения шероховатости поверхности электропроводных изделий, заключающий ся в том, что контролируемое изделие помещают в вакуумную камеру с измери- тельным электродом, который подключают к положительному полюсу источника питания, а контролируемую поверхность к отрицательному полюсу, измерительный электрод усганавливают над контролируемой поверхностью и по параметрам электрической цепи судят о шероховатости поверхности 2j. Недостаток этого способа заключается в том, что с помощью него можно определить лишь номинальную площадь и геометрические рельефы отдельных микронеровностев. Цель изобретения - расширение функциональных возможност«я. ЦЬль достигается тем, что перемешают измерительный электрод в вертикальной плоскости относительно контроляруемой поверхности, поддерживают постоя ным автоэлектро1шый ток, измеряют-зависимость нешряженности поля от расстояния между измерительным электродо и контролируемой поверхностью, по которой судят о шероховатости контролируемой поверхности; На .чертеже изображена зависимость ншфяженнои 1-й поля от расстояния In между контролируемой поверхностью и измерительным электродом. Сущность способа .заключается в сле дующем. Контролируемую поверхность помещают в вакуумную камеру и подключают к отрицательному полюсу источника питания, а измерительный электрод к положительному полюсу. При фшссировш1ном положении контролируемой поверхности перемещают в вертикальной плоскости измерительный электрод и при разных значениях вакуумного промежутка Ь меж ду измерительным электродом и кон . тролируемой поверхностью измеряют напряженность Е„ внещнего поля, при котором обеспечивается постоянство автоэлектронного тока Л . По зависимости ) судят о характере контролируемой поверхности. На чертеже представлена зависимость напряженности Ел поля от расстояния между контролируемой поверх-, ностью и измерительным электродом при постоянном токе 3 автоэлектронной эмис сии, где кривая Т соответствует наличию на контролируемой поверхности напыленного металла, который можно рассматри вать как часто расположенные микровыступы. Кривая j соответствует наличию на контролируемой поверхности редко расположенных микровыступов. Таким образом, описанный способ позволяет .оценить состояние контроли344руемой поверхности; наличие напьшенного метадла или редко расположенных выступов, что особенно варено для прогнозирования вакуумной изоляции, а также для оценки качества поверхности после различных обработок. Формула изобретения Способ измерения щероховатости поверхности электроприводных изделий, заключающийся, в том, что контролируемую поверхность помещают в вакуумную камеру с измерительным электродом, который подключают к пололсительному полюсу источника питания-, а контролируемую, поверхность - к отрицательному полюсу, измерительный электрод устанавливают над контролируемой поверхностью и по параметрам электрической цепи судят о шероховатости поверхности, о тличающийся тем, что , с целью расширения функциональных возможностей, перемещают измерительный электрод в вертикальной плоскости относительно контролируемой поверхности, поддерживают постоянный автоэлектронный ток, измеряют зависимость напряженности поля от расстояния между измерительным электродом и контролируемой поверхностью, по которой судят о щероховатости контролируемой поверхности. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Грег С., Синг А. Адсорбция, удельная поверхность, пористость. М., Мир, 1970. 2.Авторское свидетельство СССР № 587319, кп. С-01 В 7/34, 1975 (прототип).

в/м

V

1,2 h,MM

0,8