Устройство для измерения толщины оксидных пленок и покрытий Советский патент 1978 года по МПК G01B7/06 

1

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины защитных или диэлектрических оксидных нленок или слоев, нанесенных на поверхность металлов или полупроводников.

Известно устройство для измерения толщины диэлектрических пленок или покрытий, содержащее электролитический поляризующий элемеит, источник питания этого элемента и индикатор тока, проходящего через указанный элемент 1.

Однако точность измерения толщины этим устройством недостаточна, так как корреляционная взаимозависимость между током и скоростью электрохимического процесса не контролируется.

Наиболее близким техническим рещением к изобретению является устройство, содержащее последовательно соединенные источник линейно возрастающего напряжения, электролитический элемент, индикатор тока, амплитудный селектор и схему управления для источника линейно возрастающего напряжения. Инднкатор тока, выполненный в виде электронного преобразователя аналоговой величины в последовательность импульсов реле времени, контролирует величину тока, проходящего через электролитический элемент. Устройство срабатывает при величине тока.

соответствующей моменту перфорации покрытия, и, следовательно, не обеснечивает достаточной точности измерения- толщины покры тий, обладающих дефектами типа трещин

царапин, пор и т. д. Ток, обусловленный де фектностью покрытия, может вызвать прежде временное срабатывание устройства.

Целью изобретения является повыщенир точности измерения.

Для этого в предлагаемом устройстве для измерения толщины оксидных пленок и покрытий, индикатор тока выполнен в виде измерителя скорости нарастания тока.

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит источник 1 линейно возрастающего напряжения, к выходу которого подключены электроды электролитического поляризующего элемента 2. Анодом электролитического элемента является испытуемый образец. В цепь питания электролитического элемента включен резистор 3, параллельно которому нрисоединен индикатор 4 тока. Выход индикатора тока присоединен к амплптудному селектору 5, который связан со схемой 6 управления для источника линейно возрастающего напряжения. Напряжение источника, подаваемое на электролитический элемент, контролируется с помощью вольтметра 7.