Диффузионный насос Советский патент 1978 года по МПК F04F9/06 

(54) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен диффузионный насос, содержащий корпус с кипятильником и паропроводом по оси 1.

Недостатком известного насоса является то, что он имеет значительный вылет масла в откачиваемый объем.

Известен также диффузионный насос, содержащий корпус с кипятильником рабочей жидкости в нижней части паропроводом по оси, снабженным соплами, и размещенный над верхним соплом паропровода отражатель 2.

В этом насосе миграция паров масла снижена, но недостаточно, чтобы можно было говорить о чистом вакууме и, кроме того, наличие отражателя ведет к снижению быстроты действия насоса.

Целью изобретения является уменьшение величины обратно олотока паров рабочей жидкости.

Это достигается тем, что отражатель выполнен в виде сверхзвукового сопла, подключенного к источнику газа высокого давления, расположенному снаружи корпуса.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

В нижней части корпуса 1 диффузионного насоса расположен кипятильник 2 рабочей жидкости, по оси паропровод 3, снабженный соплами 4 и 5, и размещенный над верхним соплом 4 паропровода 3 отражатель.

Отражатель выполнен в виде сверхзвукового сопла 6, подключенного к источнику 7 газа высокого давления, расположенному снаружи корпуса 1. Газ из источника 7 подается к соплу () через вентиль 8.

Насос работает следующим образом. Пары рабочей жидкости истекают из сопл 4 и 5 паропровода 3. Откачиваемый газ сжимается струей пара и выбрасывается на сторону предварительного разрежения. При этом вентиль 8 закрыт и насос работает обычным образо.м. После достижения рабочего давления вентиль 8 открывается и перманентный газ начинает истекать из сопла 6, благодаря чему снижается обратный вылет паров масла в откачиваемый объем, уменьшается величина предельного остаточного давления, увеличивается быстрота действия насоса . При этом струя газа совершает работу по сжатию откачиваемого газа и выбрасывается на сторону предварительного разрежения в.месте с ним.

Формула изобретения

Диффузионный насос, содержащий корпус с кипятильником рабочей жидкости в нижней части, паропроводом по оси, снабженным соплами, и размещенный над верхним соплом паропровода отражатель, отличающийся тем, что, с целью уменьшения величины обратного потока паров рабочей жидкости, отражатель выполнен в виде сверхзвукового сопла, подключен S NS

ного к источнику газа высокого давления, расположенному снаружи корпуса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

2.Авторское свидетельство СССР № 377560 F 04 f 9/06, 1970.