Диффузионный насос Советский патент 1989 года по МПК F04F9/00 

ел to сд

СА5 4

00

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет увеличить быстроту откачки. Насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенный в нем паропровод 3 с соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1. Насос снабжен кольцом 8, расположенным между корпусом 1 и паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии. Паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой, а электрод 10 источника 6 подключен к соплу 4. Такое размещение кольца 8 против образующих сопла 4 способствует переводу сверхзвукового потока паров рабочей жидкости в звуковой, обладающий большим коэффициентом эжекции, и расслаивает поток, увеличивая его площадь, что также увеличивает эжекцию откачиваемого газа. 1 ил.

ч

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в диффузионных вакуумных насосах.

Целью изобретения является увеличение быстроты откачки.

На чертеже изображен диффузионный насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенные в нем по оси паропровод 3 с соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1, причем насос снабжен кольцом 8, размещенным между корпусом i и паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой 9, а электрод 10 источника 6 напряжения подключен к соплу 4.

Насос содержит также входной патрубок 11, выходной патрубок 12 и рубашку 13 охлаждения.

Диффузионный насос работает следующим образом.

После предварительной откачки форва- куумным насосом (не показан) включается нагреватель 5. Жидкость 2 доводится до кипения. Давление паров жидкости 2 в сопле 4 в несколько раз больще, чем давление газа внутри насоса. Пары жидкости 2 истекают из сопл 4 в виде сверхзвуковой струи. На пути потока пара установлено кольцо 8, толщиной не более критического сечения сопла, струя расслаивается, ее площадь возрастает, а скорость становится дозвуковой. Увеличение площади струи способствует

5

повышению коэффициента эжекции и увеличению быстроты откачки. Приложение потенциала позволяет создать дополнительиое движение паров жидкости 2 иа стеику корпуса 1. Это поддерживает скорость струи иа

уровне, близком к звуковой, и предотвращает обратную диффузию паров в откачиваемый объем. Величина потенциала выбирается такой, чтобы не происходило полимеризации рабочей жидкости. Откачиваемый

0 газ, проходя через входной патрубок 11, диффундирует в струю пара. Пар, попадая на охлаждаемые стенки корпуса 1, конденсируется, стекает в нижнюю часть корпуса 1, а откачиваемый газ удаляется в выходной патрубок 12.

Использование изобретения позволяет существенно повысить быстроту откачки насоса за счет увеличения коэффициента эжекции вследствие увеличения площади струи пара жидкости 2.

0

Формула изобретения

Диффузионный насос, содержащий корпус, частично заполненный жидкостью, размещенные в нем по оси паропровод с соплом, нагреватель и источник напряжения, подключенный одним электродом к корпусу, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, насос снабжен кольцом, размещенным .между корпусом и паропрово- Q дом, причем оси симметрии профилей кольца и сопла в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод в верхней части снабжен диэлектрической вставкой, а другой электрод источника напряжения подключен к соплу.

5