Электроразрядный насос Советский патент 1978 года по МПК H01J41/12 

1

Изобретение относится к средствам для создания вакуума, в частности к эпектрораэрядным насосам.

Известны эдектр(разрядные насосы, в сюнове действия которых лежит эффект пда лошения газов при катодном расположении материала катода в магнитном попе.

Известен также эпектроразрядный насос, содержащий катоды и анод,

Однако при работе в режиме импульсного тлеющего разряда он не откачивает газы в диапазоне высоких давлений.

Цель изобретения - расширение диапазона рабочих давлений насоса при откачке газов в режиме импульсного тлеющего разряда.

Это достигается тем, что на новерхноотк Катодов, перпендикулярной к ней, расположены ребра, сйразующие полый катод, На чертеже схематически изображен элеК- троразряднь5й нас ПС.

Он имеет два катода 1 с перпендикулярно располгоженными на их поверхности ребрами 2j размеры которых, и расстояние между ними выбраны так, чтобы в насосе фо{ мирсвался разряд с полым катодом, обеспечивающий наибольшую быстроту откачки. Между катодами расположен анод 3 в ВИДР кольца или рамки. Со стороны катодного ввода помешен экран 4, предотвращающий переход тлеющего разряда в дуговой при больщих токах. Для увеличения быстроты откачки в насос смонтированы втулки 5 ип прессованного титана.

Предложенный насос позволяет расширйи диапазон Цавлений до 2,О-0,2 мм рт. ст., а также стабилизировать рабочее давление инертных газов в отпаянных приборах.

Формула изобретения

Эпектрозарядный на содержащий Катоды и анод, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазонп рабочих давлений насоса при откпчке гляов в режиме импульсного тлеющего )япа, на поверхности катодов, п .рпеидикуляри к

ней , расположены .ребра, образующие педпый катод.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;

1,Патупт ClllAN 382782 -),K;i.4i 7-1J, 1074.

2.Данилин Fn, С. Вакуумшхз iianJCOHMi тонких пленок, М., Энергия, 1907, с., 1.()5

--