Устройство проекционной печати фотошаблонов Советский патент 1978 года по МПК G03B27/12 H01L21/77 

Изобретение относится к устройствам для фотопечатания и может найти применение в электронной промышленности при изготовлении интегральных схем.

Известны микрофотонаборные устройства для изготовления фотошаблонов, содержаш,ие двухкоординатный стол с гнездом для крепления фотопластин, наборную диафрагму, ироекциопный объектив, осветитель, датчик ориентации ио штриховым знакам и систему уиравления 1.

Недостатком известных ycTpoiicTB является их сложность.

Известны устройства проекционно печати фотошаблонов, содержащие корпус, внутри которого размеш,ены светооптическая система с источником света и конденсором, высокоразрешаюший объектив и средство заш,иты от пыли для фотооригинала, установленного в предметной плоскости высокоразрешаюги,его объектива 2.

Для таких устройств характерна сложность смеиы фотооригиналов.

Чтобы упростить конструкцию предлагаемого устройства, средство заш,иты от пыли для фотооригииала снабжено крышкой, верхняя часть которой обращена к высокоразрешающему объективу и выиолнена из плоскопараллельного оптического стекла, размещенного за пределами глубины резкости предметпой плоскости высокоразрешающего объектива.

На фиг. 1 схематически показано средство защиты от пыли для фотооригинала с ироецировапием фотооригпнала вверх; на фиг. 2 - общий вид устройства.

Устройство состоит из корпуса 1, светооитической системы с источником 2 света, коидеисатором 3, высокоразрешающего объектива 4, фотоиластииы 5, }стаиоБлениой на координатном столе 6, средства защиты от пы.ш для фотооригииала 7 с рамкой 8, крышкой 9, дно которой выиолиеао из илоскопараллельпого оптического стск.ча 10.

Устройство работает следующим образом.

Фотооригииал 7, прикрепленный к рамке 8, очищенный от частиц иыли в контролируемой среде и закрыты лоскопарал. ельпым оптическим cTeKJ OM 10, устанавл вается в оитическу 0 С1 стсму экс он 1руется иа фотоИЛаСТ Иу 5, установленную а КООрДИ ШТ ОМ

столе 6, который может иеремещаться с определенным шагом для получения размноженного 3ображен я.

Расстояние от предметной илоскост до дна крышк ; от конкретной конструкции оптической системы.

Ос свиым требованием является размещение оптического стекла за глубиной резкост предметной плоскост с целью ироец 1рования частиц пыли, осевших на стекло за плоскостью изображения, а следовательно и нснроиечатываиия их на фотопластнне 5. Фотооригнналы, защищенные таким образом, могут храниться и кассетах и устанавливаться в предметную нлоскость как вручную, так и автоматически. Форм у л а и зобретения Устройство ироекциоиной иечатн фотощаблоиов, содержащее корпус, внутри которого размеи1,ены светооитическая система с источником света и коиденсором, высокоразрещающий объектив ii средство защиты от ныли для фотооригииала, установленного в предметной плоскости объектива светооптической системы, отличающееся тем, что, с целью унрощення коиструкции, средство защиты от ныли для фотооригинала снабжено крыщкон, верхняя часть которой обращена к высокоразрешающему объективу и выполнена пз плоскоиараллельного оптического стекла, размещенного за пределами глубины резкости предметной плоскости высокоразрещающего объектива. Источннки информации, принятые во внимание при экспертизе 1Авторское свидетельство СССР №447664, кл. G ОЗВ 27/32, 1974. 2Патент Франции № 2141205 кл. В 44D 5/00, 1973.