КРОФОТОНАБОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Советский патент 1970 года по МПК G03F1/02 

Изобретение относится к области микроэлектронного производства.

Известны фотонаборные устройства для производства фотошаблонов, содержащие станину, координатный стол с микрометрическими винтами и приводом от шаговых электродвигателей, проекционный объектив, узел сменных диафрагм, осветитель, затвор и блок программного управления.

Эти устройства имеют невысокую точность (разрешаюпдую способность) из-за расположения проекционного объектива, узла сменных диафрагм, затвора и осветителя, объединенных в единый конструктивный узел и размеш:енных на консолях станины над координатным столом. Такое расположение делает чувствительным устройство к воздействию внешних и внутренних источников вибраций и тепла. Кроме того, оно имеет недостаточную производительность, поскольку количество сменных диафрагм ограничено и отсутствует возможность непосредственного получения высококачественных мультиплицированных фотошаблонов путем проецирования предварительно изготовленного на устройстве промежуточного фотошаблона.

Предложенное устройство не имеет этих недостатков. В нем сменная оправа с проекционным объективом установлена в опирающемся на верхнюю плоскость станины горизонтальном основании координатного стола, снабженного окном для объектива и гнездом для крепления фотонластины, а шторчатая наборная диафрагма подвешена к основанию координатного стола на проходящих через окно станины колоннах, на которых между наборной диафрагмой и объективом закреплена обойма для установки промеж)гочного фотошаблона.

Иа чертеже представлена принципиальная схема описываемого устройства.

Оно содержит станину 1, на которой закреплены осветитель 2 и затвор 3. На верхпей горизонтальной плоскости станины через резиновые прокладки установлено основание 4 координатного стола 5. Для повышения T04iioсти текущие координаты онределяются не микрометрическими винтами и шаговыми электродвигателями, а чувствителыплми датчиками 6 линейных неремещений, выполненными на дифракционных решетках.

Известно, что наибольшая точность установки координат соответствует положению перемещающегося объекта в центре коордипатного стола, С этой целью в координатном столе имеется гнездо 7, в котором расположена фотопластина 8 светочувствительным слоем вниз. Кроме того, в координатном столе сделано окно для объектива 9, приподнятого над

раве 10 помещен в окне основания координатного стола, что уменьшает влияние вибрационных и тепловых воздействий на точность проецирования изображений. Раздвижная шторчатая наборная диафрагма 11 подвешена к основанию 4 на колоннах 12, проходящих через окно (отверстие) станины, что уменьшает влияние различных внешних воздействий lia точность проецирования изображений, повышая тем самым разрешающую способность устройства, а применение раздвижной шторчатой диафрагмы увеличивает его производительность.

При изготовлении фотошаблонов среднего качества, минимальные размеры элементов которых до 5 мк, в основание 4 вставляется сменная оправа 10 с липзовым растром. Ограниченные размеры проецируемых элементов (не более 0,1 ХОД позволяют при этом получить удовлетворительное разрешение.

При изготовлении фотошаблонов высокого качества, минимальные размеры проецируемых элементов которых менее 5 мк, в основание 4 вставляется оправа 10 с высокоразрешающим объективом. Вначале через объектив проецируется изображение наборной диафрагмы //и изготовляется промежуточный фотошаблон, который затем на этом же устройстве мультиплицируется. На колоннах 12 закреплена обойма 13 для установки промежуточного фотошаблона, изображение которого проецируется высококачественным объективом 9 на фоточувствительный слой пластины 8, а координатный стол совершает шаговые неремешення. В этом случае устройство выполняет роль фотоштампа.

Применение в качестве проекционного объектива линзового растра значительно повышает производительность.

Для защиты фотопластин и оптики от внешнего света и пыли гнездо 7 для установки фоюпластин закрыто колпаком 14, имеющим окио со светофильтром 15 и загрузочное окно со шторками 16. Работой устройства управляет программный блок 17 по вводимой с перфоленты или другого носителя информации.

Предмет изобретения

Микрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов, содержащее станину с осветителем и затвором, координатный стол с датчиками линейных перемещений, наборную диафрагму с раздвижными шторками,

сменный объектив в виде линзового растра или высокоразрешающего объектива и блок программного управления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности (разрешающей способности) и производительности, сменная оправа с проекционным объективом устаиовлена в опирающемся на верхнюю плоскость станины горизонтальном основании координатного стола, снабженного окном для объектива и гнездом для крепления фотонластины, а шторчатая наборная диафрагма подвешена к основанию коордииатного стола на 1фоходящих через окно станины колоннах, на которых между наборной дифрагмой и объективом закренлена обойма для установки промежуточного фотошаблона.