Способ контроля дефектов фотошаблонов с прямоугольной топологией рисунка Советский патент 1978 года по МПК G01B11/24 G02B27/46 G03F1/00 

Изобретение огносится к контрольно-измерительной технике, а именно к оптическим методам измерения, и можег быть использовано в частности для контроля фотошаблонов для производства интегральных схем с прямоугольной топологией рисунка , Известен способ контроля дефектов фото шаблонов, заключающийся в блокировке про странственных частот, соответствующих регулярной структуре, голографическим фильтром |ij . Однако такой способ имеет невысокую точность контроля, так как изображение дефектов накладывается иа изображение бездефевяНого .{жсунка фотошаблона в виде све тящих точек и более слабые дефекты могут быть не замечени оператором. Кроме того, способ недостаточно производителен иэ-чэа сложностей в изготовлении фильтра и юстировки системы при сменефотошаблона Наиболее близким по технической сущнос ти и решаемой задаче к данному изобретени является способ контроля дефекта фотошаблонов с прямоугольной топологией рисунка, заключающийся в том, что освещают фотошаблон колликированным пучком света, формируют изображение спектра пространственных частот с помощью объектива, блокируют пространственные частоты, соответствующие прямоугольной топологии рисунка, и получают изображения дефектов 2J. Известный способ осуществляется с помощью крестообразного фильтра и объективов прямого и обратного фурье преобразования.. Недостатками этого способа являются низкая точность контроля, обусловленная тем, что фильтр не подавляет полностью пространственные частоты. Соответствующие прямоугольной топологии рисунка, а также низкая производительность контроля, обусловленная необходимостью настройки системы при смене фотощаблона. Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля. Для этого фотошаблон освещают двумя скрещивающимися колпимированными пучка- ми света, направленными под угаом J% к оп