Интерферометр Советский патент 1978 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено дпя контроля качеств поверхностей оптических деталей и может найти иримененне в оптическом приборостроении.

Известен интерферометр дпя контроля ка чества оптических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения, тепесконнческую систему, светоделитель, микрообъектив и аппанатический мениск, од на R3 поверхностей которого служит дпя образования фронта сравнения, и объектив для наблюдения интерференционной картины

ЙНедостатком интерферометра являются высокие требования к гтетировке его апемевтов, а также большое число паразитных бпнков, снижающих, контраст интерференционной картины, а следовательно и точность измерений,

Наиболее близким по технической сущности и решаемой задачи к изобретению являтесй интерферометр, содержащий источник монохроматического излучения, расположе цые п.о. ходу его луча два концевых ттоских

зеркала, оптическую систему, формирующую сферический волновой фронт и выполне ную в виде окулярной насадки и микрообъекртива. светоделительный зетемент, выполненный в виде блока из двух прямоугольных призм, и эталонный блок |2|.

Однако сравнительно низкая точность измерений известного интерферометра , вызванная влиянием собственных петрешностей светоделитепьного элемента на интерференционную картину, сказывается при контроле Бысокоапертурных поверхностей, т. е, низкая светосила интерферометра, а также низкая производительность юстировочных операций при настройке интерферометра.

Для увеличения светосилы интерфероме-рра и повышения производительности юстирогвочных операций, интерферометр снабжен дополнительным светоделительным элементом, расположенным между окулярной насал Кой и микрообьективом так, что еГо передний корпус совмещен с предметней точкой микрообъектива, катет одной прнэ мы светоделительного элемента вьшопнен равный полуаперс изломом на угод, и на меньшей туре интерферометра части грани до излома выполнена сферическая попированная пунка, а эталонный блок выполнен в виде плоско-выпуклой линзы, приклееной к другому катету той же приэмы, принем центры кривизны выпуклой поверхности линзы и поверхности лунки совм шены. На чертеже дана схема предлагаемого интерферометра. Он содержит источник 1 монохроматичес кого излучения, два концевых зеркала 2, 3 отражательную линзу 4, микрообъектив 5, светоделительный .элемент, выполненный в виде прямоугольных призм 6, 7 и склееной с одним -из них плосковьшуклой пинзы 8, кск торая образует эталонный блок, телескопическую систему 9, дополнительный светоде- лительный элемент 10, окуляр 11, а также плоское зеркало 12, которое устанавливают вместо дополнительного светоделительного элемента 10 при работе интерферометра. Работает интерферометр следующим образом. Пучок света от монохроматического источника 1 излучения после отражения от ко цевых плоских зеркал 2, 3 преобразуется отражательной линзой 4 в расходящийся., .-. .„ иСхОдяищй из задней предметной точки микроЬбъектйва 5, Микрообъектив создает точечное изображение О источника света в передней предметной точке, откуда лучи по нормалям падают на 1&ыпуклую поверхнос плоско-выпуклой линзы 8. Ьт выпуклой повер ности свет частично отражается и, возвра щаясь по иорманям, создает волновой сравнения-С центром в точке О . Другая часть света без преломления проходит выпуклую поверхность линзы и падает на исследуемую поверхность 13. Если радиус кривизны исследуемой поверхности или фокус исследуемой автоколлнмадионной систе- мы о совмещен с точкой О , пучок лучей воавраиюётся по тому яепути, искаженный аберрациями поверхности или системы, и ин терферирует с волновым фронтом сравнения. Наблюдение .интерференционной картины . к фотографирование ее осуществляется с омощью наблюдательной телескопической истемы 9. Предварительная юстировка интерфероетра и проверка сохранения юстировки в роцессе работы проводится с помощью лементов .1, 2, 3, 4, 5 светодылительного элемента 10 и окуляра 11 с сеткой, обрауюших автоколлимационный микроскоп, при аблюдении автоколлимационного изображе-f ния источника света в окуляр 11. В процессе работы в целях уменьшения потерь световой энергии дополнительный сватодели тельный элемент 1О заменяется по плоское зеркало 12, установленное на общую со светоделитель вым элементом 10 оправу. Формула изобретения Интерферометр, содержащий источник моно фоматического излучения, расположенные по ходу его луча два концевых плоских зеркала, оптическую систему, ф(фмирующ)ю сферический волновой фронт и выполненную в виде окупярноА насадки и микроЬбьектива, светоделвтельный элемент, выполненный в виде блока из двух прямоу1-опьных призм, и эталонный блок, отличающи Ьс я тем, что, с целью увеличения светосилы интерферометра и повыщения тфсдазвод тельности котировочных операций, он снаб„ / жен дополнительным светоделительным элементом, расположенным между окулярной насадкой и мнкрообъективом так, что его передний фронт совмещен с предметнЫ1 точк(й микрообъектива, катет одной Призмы светоделнтельного элемента выполнен с изломом на угол, равный полуапврт5фе интерферометра, и на меньщей чac ти грани до излома выполнена сферическая полированная лунка, а эталонный блок выполнен в виде плоско-выпуклой линзы, приклеек ной к другому катету той же призмы, причем центры кривизны выпуклой псюерхности линзы и поверхности лунки совмещены. Источники инффмаиии, npuHsrrbie во внимание при экспертизе: 1, Авторское, свидетельство N СССР N9 373519. кл. - GOI В 9/02, 1971. 2.Техническое описание интерферометра ИТ-72, Ленинград, ГОИ.