Интерферометр для контроля качества по-ВЕРХНОСТи ОпТичЕСКиХ дЕТАлЕй Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

совмещен с центром перекрестия сетки окуляра.

На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроля качества поверхности оптических деталей.

Предлагаемый интерферометр содержит источиик / монохроматического излучения, последовательно расположенные по ходу световых лучей плоские зеркала i2-4, телескопическую систему 5, микрообъектиБ 6 для формирования сферического волнового фронта, светоделительный блок, выполненный в виде двух прямоугольных призм 7 и 8, склеенных с призмой 7 плосковыпуклой линзы 5 и с призмой 8 плосковогнутой линзы 10, наблюдательную телескопическую систему 11, расположенную на выходе интерферометра, дополнительный светоделительный элемент 12, устанавливаемый вместо плоского зеркала 4 при юстировке интерферометра, объектив 13, окуляр 14 и контролируемую поверхность .

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от источника / монохроматического излучения после отражения от плоских зеркал 2-4 расширяется телескопической системой . Полученный параллельный пучок лучей, равномерный по всему полю, собирается микрообъективом 6 в предметную ;«точку О. Далее пучок лучей по нормалям проходит сферическую поверхность лунки /1, которая выполнена на катете прямоугольной призмы 7, преломляется светоделительной поверхностью и по нормалям падает на сферическую эталонную поверхность плосковыпуклой линзы Я приклеенной к другому катету призмы 7. Затем частично отражается от поверхности /2, образуя эталонный волновой фронт, и без преломления через поверхность плосковогнутой линзы 10, приклеенной к катету призмы 8, выходит из светоделительного блока и собирается в точке О .

Другая часть пучка, прощедщая через поверхность, отражается от контролируемой поверхности 15 (или системы, которая дополнительными оптическими элементами дополнена до автоколлимационной). Если радиус кривизны контролируемой поверхности, а именно ее фокус О, совмещен с точкой О , то пучок лучей возвращается по тому же пути, искаженный аберрациями контролируемой поверхности (или системы), проходя без преломления концентрический мениск, образованный сферическими поверхностями /2 и /з, и интерферирует с эталонным волновым фронтом.

Наблюдение интерференционной картины и фотографирование ее осуществляется

с помощью наблюдательной телескопической системы /I/. Предварительная юстировка интерферометра и проверка сохранения юстировки в процессе работы производнтся с помощью источника 1, плоских зеркал 2 vi 3, телескопической системы 5, микрообъектива 6, дополнительного светоделительного элемента 12, устанавливаемого вместо зеркала 4, объектива 13 и окуляра 14 с сеткой, образующих автоколлимационный микроскоп, при наблюдении автоколлимационного изображения предметной точки источиика J монохроматического излучения. Юстировка интерферометра осуществляется путем устранения продольного и иоперечных смещений источника / из центра кривизны эталонной поверхности /2. В юстированном положении автоколлимационное изображение источника /

монохроматического излучения совпадает с центром перекрестья сетки окуляра 14. При работе для уменьщения потерь световой энергии дополнительный светоделительный элемент 12 заменяется на плоское зеркало 4.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля качества поверхности оптических деталей, содержащий источник монохроматического излучения, «-последовательно распололсенные по ходу световых лучей плоскне зеркала,

микрообъектив для формирования сферического волнового фронта, светоделительный блок, выполненный в виде двух прямоугольных призм и склеенной с одной из них плоско-выпуклой линзы, наблюдательную

телескопическую систему и окуляр, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности контроля, он снабжен телескопической системой, расположенной между микрообъективом и одним из плоских зеркал, плоско-вогнутой линзой, установленной в светоделительном блоке так, что центр кривизны ее сферической поверхности совмещен с центром кривизны плосковыпуклой линзы, и объективом, расположенным между окуляром и одним из плоских зеркал так, что его задний фокус совмещен с центром перекрестия сетки окуляра. (

Источники информации, принятые во

внимание при экспертизе:

1. Савин ,В. А. и Федина Л. Г. Новая

техника в астрономии. Вып. 3 - Наука,

19710, с. i207. 2. Авторское свидетельство СССР

№ 603940, кл. G 01 В 9/02, 1978 (прототип).

//