Устройство для химической резки монокристаллов Советский патент 1978 года по МПК B28D5/06 

1

Изобретение относится к вспомогательному научному оборудованию и входит в состав устройств, предназначенных для бездеформационной резки монокристаппов.

Известное устройство для резки монокрио таппов с распиловочным диском не обеспечивает нужного качества реза l.

Известно другое устройство для химической, резки монокристаллов, содержащее механизм подачи кристаллодержателя с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора и электродвигатель возвратно-поступательного перемещения режущей струны 2.

Это устройство является наиболее блиэким к изобретению по технической сущности и достигаемомурезультату.

Недостатком этого устройства является , необходимость поддерживать постоянным усилие натяжения режущей струны. Тарировка силоизмерительного датчика зависит от деформации режущей струны под действием оптимального усилия нажатия струны на монокристалл, а деформация, в свою очередь,

зависит от натяжения струны. Натяжение режущей струны в процессе резки изменяется вследствие ее износа. Кроме гого, затрунена эксплуатация станка, так как необ(;одимо иметь специальные средства для обеспечения постоянного, предварительно заданного усилия натяжения струны при ее замене, или необходимо проводить тарировку силоизмерительного датчика при каждой такой замене.

Цель изобретения - поддержание оптимального усилия натяжения ружущей струны на монок рис талл.

Это достигается тем, что устройство для химической резки монокристаллов, содержащее механизм подачи кристаллодержатепя с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещения режущей струны, снабжено кареткой с коромыслом весовой системы, снабженной грузом задания усилия нажатия струны и датчиком перемещения, причем электродвигатепь в.озвратно-поступательного перемещения режущей струны кинематически связан с кареткоЙ на одном плече коромысла закреплена режушая струна, а др гое его плечо кинематически связано с дат чиком перемещения, электрически связанногоС электродвигателем подачи. На чертеже изображено предлагаемое устройство, общий вид; Устройство для хик ической резки монокрисгалпов включает станину, механизм подачи К{Щ(:галлодержателя 1 со следящим .Г|х ирибором, состоящий из стола 2, Ц1ГОК9 3, редуктора 4 и электродвигателя подйчм 5. На станине расположены каретка б несуш1я коромысло 7 весовой системы и электродвигатель 8, осуществляющий возврйгно-поогупательное перемещение кчретки кривошипно-шагунного мехаЕ)изма 9 и реечного дифференциала 10, На одном плече коромысла закреплена режущая струна 11, а другое его плечо связано с датчиком перемещений 12, На коромысле имеется противовес 13, служащий для балансировки весовой системы, и груз 14 задания усилия нажагия режущей струны на монокристалл. На режущие струны надеты втулки 15, соединенные эластичными трубками 16 с резервуаром. 17 рабочего раствора. Перед запуском станка между монокриотаппом и режущей струной задается необходимое усилие контакта, при этом сигнал от датчика перемещений устанавливается ра&ным О, а коромысло занимает определенное положение, Кривошипно-шатунный механизм 9 преобразует вращение электродвигателя 8 в возвратно-поступательное перемещение каретки 6. Реечный дифференциал 1О служит для увеличения длины хода каретки. Вместе с кареткой перемещается и коромысло 7 весовой системы, несущее струну 11, которая, проходя через втулку 15 и смачиваясь рабочим раствором, подводимым к втулкам по трубкам 16 из резервуара 17, переносит раствор в место реза на монокристалле Движение от электродвигателя подачи 5 через редуктор и винтовую пару пр€,-образует ся в поступательное перемещен}1е lUTOKa 3, на столе 2 которого усга:1авлив:1ется кристаплодоржатель 1 с закрепленным SiOHOKpncталлом, В прощ.ссе резкл монокристалла коромысло 7 весовой системы стремится отклониться из первоначального положения вниз нод действием силы, определяемой положением груза 14 на коромысле, или вверх за счет перемещения монокристалла. При этом появляется сигнал разбаланса на датчике перемещений 12, . .Сигнал разбаланса через электронный усилитель поступает на реверсивный электродвигатель подачи 5, который перемещает монокристалл и возвращает коромысло 7 весовой системы в первоначальное положение. Формула изобретения Устройство для химической резки монокристаллов, содержащее механизм подачи кристалл оде ржателя с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещения режущей струны, отличающееся тем, что, с целью поддержания оптимального усилия нажатия режущей струны на монокристалл, устройство снабжено кареткой с коромыслом весовой системы, снабженной грузом задания усилия нажатия струны и датчиком перемещения, причем электродвигатель перемещения струны кинематически связан с кареткой, на одном плече коромысла закреплена режущая струна, а другое его плечо кинематически связано с датчиком перемещения, электрически связанного с эпекгродвигагелем подачи. Источники информации, принятые во вниание при экспертизе: 1.Заявка № 2022039, кл. В 28 D 3/02, 1974, по которой принято рещение о выдаче авторского свидетельства. 2,Авторское свидегепьство № 447288, кл, В 28D I 5/06, 1973.