Установка для рентгеновской топографии монокристаллов Советский патент 1978 года по МПК G01N23/04 G03B1/16 

(54) УСТАНОВКА ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПОГРАФИИ МОНОКРИСТАЛЛОВ средств синхронизации развертки электронного пучка, сканирующего рент геновскую мишень, и развертки опроса средств для преобразования дифрагированного рентгеновского излучения. Цель изобретения - упрощение установки для получения рентгеновских топограмм. Цель достигается тем, что в предла гаемой установке средства для преобра зования рентгеновского излучения выполнены в виде видикона с инерционным чувствительным слоем, характеристичес кое время Инерции которого превьлшает время по крайней мере одного цикла сканирования поверхности образца. На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство. Источником 1 рентгеновского излучения служит рентгеновская трубка с достаточно большой удельной мощностью и с точечным фокусом. Питание рентге новской трубки осуществляется высоковольтным источником с помощью высоковольтного кабеля. Охлаждени е трубки производится проточной водой. Пучок рентгеновских лучей из источника проходит через щель коллиматора 2 шириной 0,4 мм, расположенную на расстоян 20 см от фокуса трубки (такое располо жение оптимально). Это дает возможнос получить достаточно интенсивный узкий параллельный рентгеновский пучок с достаточным разрешением для получения изображения дислокаций величиной 25мк и более без длительных экспозиций, Дифрагированный от монокристалла 3 пу чок, проходя через щель 4, которая служит для задержки недифрагированног излучения, попадает на входное окно видикона 5. Видикон представляет собой рентгеновскую передаюшую трубку с высокой чувствительностью и инерционностью. Устройство видикона позволяет легко превратить оптический вход в рентгеновский. Инерционность видикона обусловлена инерционностью чувствительного слоя. При сканировании источника 1 рентгеновских лучей на экране последовательно получается изображение отдельных участков. Благодаря инерционности видикона в течение всего процесса.сканирования сохраняется изображение топографической картины всего монокристалла при условии, что характеристическое время инерции чувствительного слоя ви дикона превьлиает по крайней, мере время одного цикла сканирования поверхности образца. Сигнал, полученный от видикона, усиливается видеоусилителем 6. Усиленный сигнал подается к приемно-регистрирующему телевизионному устройству - монитору 7, на экране которого из-за инерционности видикона наблюдается целая рентгенотопографическая картина дефектов всего монокристалла, С помощью установки можно наблюдать рентгенотопографические картины в хорошо освещенном помещении, полученные от монокристаллов кремния толщиной 0,4 мм при излучении Мо Кос в следующем режиме: напряжение на аноде 35 кВ, ток через трубку 15 мЛ, длина коллиматора 200 мм, ширина выходной щели коллиматора 0,2 мм, фокусное пятно трубки 0,4х 0,4 мм. Видимое изображение рентгенотопографическ й картины может сохраняться на экране телевизионной установки в течение 3-5 мин после выключения источника рентгеновских лучей. Установка не требует средств синхронизации развертки сканирования рентгеновского источника и спроса чувствительного слоя видикона. Формула изобретения Установка для рентгеновской топографии монокристаллов, содержащая источник рентгеновского излучения, коллиматор, держатель исследуемого монокристалла, средства для перемещения источника рентгеновского излучения относительно держателя для сканирования поверхности монокристалла, средства для преобразования дифрагированного рентгеновского излучения с усилителем изображения и индикаторное устройство, отличающаяс я тем, что, с целью упрощения установки, средства для преобразования рентгеновского излучения выполнены в виде видикона с инерционным чувствительным слоем, характеристическое время инерции которого превышает, время по крайней мере одного цикла сканирования поверхности образца. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1,Русаков А,А, Рентгенография металлов, М,, МИФИ, 1962, с, 186-188, 2,Выложенная заявка ФРГ №1936591, кл.42 Н 20/02, 1971, 3,Патент США №3833810, кл,250-273, 1974.