Рентгеновская трубка Советский патент 1978 года по МПК H01J35/10 G01N23/20 

(54) РЕНТГЕНОВСКАЯ ТРУБКА

Изобретение относится к рентгеновским трубкам для рентгеноструктурного анализа.

Известны источники рентгеновского излучения для топографии монокристаллов, содержащие катод, прострепьньШ анод и средства развертки электронного пучка по поверхности прострельного анода (IJ.

Такие источники позазоляюг создать пространственное поле излучения, что обеспечивает получение топограммы монокристаллов без перемещения элементов устройства.

Недостатком известных устройств является невысокая интенсивность рентгеновского излучения, связанная с условиями охлаждения анода, что при дифрактометрических измерениях, в которых интенсивность дифрагированного пучка в 10-10 раз меньше интенсивности первичного пучка, практически исключает возможность использования гакого источника.

Одним из широко используемых методов увеличения (ующности рентгеновских трубок является использование вращающегося анода. Такие трубки гюзаоляют получить шненсивности, приемлемые проведения экспрессных тогю{рафических исшедований, Однако в силу кон

струкции работаюикго на. отражение вкода и условий вьшода рентгеиовского излучения Нельзя получить пространствекире поле нздуче иия, что вызьшает необходимость перемещений элементов топографического устройств.

Наиболее близким техническим решением является рентгеновская трубка, содержащая вакуумный корпус, окно для вывода ренттеновского излучения, катод, вращающийся П{х стрельнын анод, излучающая поверхность которого образовала слоем тугоплавкого металла, ианесенного и прозрачную для реитгеновского и лучения пластину (2).

Однако зта трубка ие позволяет создать пространственное поле излучения, а кроме того, мощность ее ограиичена по сравнению с обычными трубками с вращающимся анодом из-за необходимости использоваиия очень тонких (10-40 мкм) слоев тугоплавкого материала.

Целью изобретения является увеличение интенсивности излучения.

Это достигается тем. что трубка С1 ержит средсгва развертки злектроиного пучка во излучающей поверхности вращающегося чнодаЗа т этого др шгается воэ1иожность создания пространспенного попя , с одной стороны, и улучшаются усповш охлаждения трубки 38 счет, вбэмоаюшсга выбора параметров развертки для дашюд скорости анода таким образом, что пучок будаг попадать в одну и ty же точку анода, не за одни оборот анода, как в устройстве {2, шш ие за один ииклсканировашш, как в устробстве t, а за горазда больший период времени.

, На фиг. 1 изображена преддагаемая реитгеновркая Т1)убка; на фиг. 2 разре А-А фиг. i.-.- . . V,:.,. . ./

Йнтгеиовская трубка содержит вакуумный корпус 1 с окном 2 для выпуска peuire новских лучей, кзто;( 3, вра1цшощ1{йся анод 4, изпучаяяцая поверхность которого образована тоем тугоплавкого материала 5, нанесенного на пластину 6 из прозрачного для рентгеновского издунения материала, например бери«лив или графита. Трубка содержит средства для рязвертки эдедсгронного пудса, состоящие из вертикальных 7 и горизонтальных 8 откпоаяю щих штастщ, соединенных со средствами дня подачи OTKnoiiAtoui ro нацряжеи{(я (не показаы). Поскоибку дня рентгеновской топографии еобходимы параллешыю Направленные пучки, OKJty трубки может быть подсоёдннеи колнматор, например ош1С }шого в (1 типа (не показан).

Ко«фигу{мцция пространственного поля 9 (см. фиг. 2) может задаваться с помощью средств

ддя лодаш отклоняющего напряжения. При )к аметре анода 10 можно использовать поле излуфишя величиной порядка 3,5 х 2,5 сщ, vfto вполне достаточно для контроля кристатщор, используемых в полупроводниковой техжщолш. Следует также заметить, что трубка может быть снабжена вторым катодом и средс19М« для создания, пространственного поля, т. к- теп левой режим такой трубкк позволяет испольэо вать два, поля излучешя при интеисивностях, достаточных щя проведения топографических «ссдедовщий.

Ф о р м у л а . и 3 о б р в т е ни я

Вен1Геиовская трубка, содержащая вакуум Иый корпус с окном дпя вывода реитгеновско го излучегшя, катод, врдщаюнфкйся прострельШый анод, излучающая поверхность которого

20 образована слоем тугоплавкого маг«| с«ла, нанесённого на прозрачную для рентгеновского Излучения пластину, от/л н ч а ю щ а я с я тем, vio,. с целыо увеличения иитенсивносл из, учения, трубка содержит средства развертки

2$. ектронного пучка по излучающей поверхности вращающегося. анода.

Источники информацш,. принять во шшьтние ари-эксперш е:

фиа. 1