Устройство для рентгеновской топографии монокристаллов и способ его работы Советский патент 1979 года по МПК G01N23/20 

Изобретение относится к области рвнтгеноструктурного анализа твердых тел, В частности к устройствам для рентгеновской топографии монокристг1ллов. . . Известны устройства для рентгеновской топографии монокристаллов с визуализацией получаемой картины В которых В качестве источника использована рентгеновская трубка с прострельным анодом и средствами развертки электронного пучка по по верхности анода 1. Эти устройства характеризуются малой интенсивностью регистрируемо дифракционной картины. Известны устройства для рентгЁ,нрвской топографии монокристаллов, В которых В качестве источника используют рентгеновскую трубку с вр щающимся анодом, что существенно повышает интенсивность дифракционной картины и улучшает, тем сапвлм, ВОЗМОЖНОСТИ ее визуализации 2. .Однако использование трубок с вращающимся анодом значительно удО ;Жает установку. Наиболее близким техническим ре шением к предлагаемому изобретению устройство для рентгеновСкой топографии Монокристаллов, содержащее острофокусную рентгеновскую трубку с противоположно расположенными окнами Дли вЫхсэда рентгеновского излучения (например, БСВ- 19), каллйматор, держатель исследуемого кристалла, средства визуализации топографической картины (видикон), средства сканирования поверхности исследуемого кристалла рентгеновским пучком 3. Недостатком известного устройства является относитёльно слабая интенсивность .дифракционной картины,/; что ограничивает возможности визуализации, В частности использование высокоразрешающих видиконов с- очень тонким чувствительным слоем. Цель изобретения заключается в том, чтобы ПОВЫСИТЬ эффективность визуализации при использовании стаигдартных рентгеновских трубок. Цель достигается тем, что предлагаемое устройство..для рентгеновской топографии монокристаллов, содержащее острофокусную рентгеновскую трубку с противоположно расположенными окнами для выхода рентгеновского излучения, коллиматор, держатель исследуемого кристалла, средстйа видуализацйМ тбпогг аф йческой кар тины, средства сканирования поверхности исследуемого кристалла, допол нительно содержит вторую острофокус ную рентгеновскую трубкУ, выхбдйые iOKHa которой расположены по одной линий с окнами первой трубки, причем на этой линии находятся фокусы Ipy6ciK и коллиматор, и введены средств юстировки относительного положения трубок. При этом трубки и коллиматор уст но1влены на платформе, подвижной отно .сйтельно держателя исследуемого крис талла и средств визуализаЦййГ. ™ Кроме того-, одна из трУбок испол зуется в импульсном режиме. На фиг. 1 показана принципи ьная схема предлагаемого Устройства; на фиг.2 - относительное размещение двух рентгеновских трубок; на фиг.3 топограмма, полученная с помощью предлагаемого устройства. Устройство содержит острофокусные рентгеновские трубки 1, 2, выходные окна 3 которых расположены наодной прямой, на которой находятся и фокус трубок, коллиматор 4, исследуеи«лй Кристалл 5 на держателе, щель 6,; видикон 7, предварительный усилитель 8 И приемно-регистрйрующее телеустройство 9. Из коллй 1атор а 4 вахБдит совмещенный пучок 10 обеих трубок, а на видикон 7 попадает дифрагИрованный пучок 11. Рентгеновские трубки 1 и 2 ydiaновлены друг относительно друга та-; КИМ образом, чтобы идущее от их анодов 12 и 13 излучение не экранировалось элементами конструкций и ;15сЗвмёщалось по направлению так, фокусы и коллиматор лежали на одной линии. Для точного совмещения пучков тру бок 1, 2 последние устаноблены на , устройстве юстировки их относительного положения (не показано) . -Для получения полной трпограмш т. 1 2 и коллиматор 4 устанавливаются на общей платформе (не показано) ,кс)торая совершает возвратйо-прстУпЯФёЛьное перемещение вдоль поверхности кристалла 5. Такое устройство позволяет существенно улучшить эффективность визуализации (см.фиг.3, на которой- темная область соответствует использованию одной трубки, а светлая двух трубок в соответствии с изобретением).- .

667878 Эффективность визуализации можно повысить путем использования одной fi3 трубок в импульсном режиме, что позволяет повысить интенсивность излучения этой трубки и получить более яркую картину при использовании инерционных .свойств видикона и человеческого зрения. Формула изобретения 1.Устройство для рентгеновской топографии мрнокристаллов, содержащее острофокусную рентгеновскую трубку с противоположно расположен ыми окнами Для выхода рентгеновйtccjro излучения, коллиматор, дер-: жатель исследуемого кристалла, средства визуализациитопографической картины, средства сканирования поверхности исследуемого кристалла рентгеновским пучком, отличающееся тем, что, с целью повышейия эффективности визуализации при использовании стандартных рентгеновских трубок, устройство дополнительно содерйсйт вторую острофокусную рентгеновскую трубку, выходные окна которой расположены по одной линии с бкнами первой трубки, причем на этой линии находятся фокусы трубок и коллиматор, и введены средства юстировки относительного положения TpydoK . : 2.Устройство по П.1, О т л и «i а ю ще е с. я тем, что трубки и )кЬллиматор установлены на платформе, подвижной относительно держателя исследуемого кристалла и средств визуализации. 3.Способ работы устройства по пп.1-2, отличающийся тем, что трубок используется в импульсном режиме. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент сША 3833810, кл.; 25p-27f7 1974. . г. Патент США 3944823, кл; 250-273, 1976. 3. Шабрян С.А. Визуализация рентгеновских дифракционных топографических картин и исследование структурных несоверяиенств, возникающих i вкрё1$в1Иёвь13с кристаллах при технологических процессах. (А втореферат на Соискание ученрй степени к.ф.-м.н), Черновицки государственный универсйтё г,Ч рнрвщд, 1977, с. 10-14.

В67878

(риг. 2