Электродуговой испаритель геттера Советский патент 1978 года по МПК H01J41/20 

1

Изобретение относится к эпектродуговым испарителям геттера для высокэвакуумных испарительных насосов.

Известны электродуговые испарители высоковакуумных геттерных насосов, обеспечивающие высокие скорости испарения геттера lj ., Известна также необходимость охлаждения катода этих испарителей проточней водой для отвода подводихюй к ним электрической кгощности.

Известен также электродуговой испаритель геттера, содержащий катод, выполненный из материала геттера, и встроенную в катод систему охлаждения с разделяющей оболочкой между ними 2J. Оболочка в виде трубки выполнена из меди, а катод - из титана.

Однако в известных электродуговых испарителях геттера через определенное время дуга переходит на медную оболочку системы охлаждения, так как ток горения дуги для меди не превьпиает тока горения дуги для титана. Это ведет к выходу из строя системы охлаждения и ограничивает степень

использования геттера, т.е. сокращает срок службы испарителя.

Цель изобретения - повышение срока службы электродугового испарителя геттеРа«

Это достигается тем, что оболочка, разделяющая катод и Встроенную в него систему охлаждения, выполнена из материала с величиной тока горения дуги, превыщающей эту величину для материала геттера, что делает невозможным переход дуги lia систему охлаждения. Кроме того, катод может быть выполнен из титана, а оболочка системы охлаждения из молибдена или вольфра- ма.

На чертеже изображен один из возможных вариантов предлагаемого электродугового ис парителя геттера.

Он содержит катод 1, выполненный из материала геттера - титана, в который встроена система охлаждения испарителя. Эта система выполнена в виде двух концентрических трубок 2 и 3. Внещняя трубка 2, отделяющая систему охлаждения от катода, выполнена из материала (вольфрам, молиб