Электродуговой испаритель геттера Советский патент 1979 года по МПК F04B37/02 H01J7/18 

(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ГЕТТЕРА

I

Изобретение, относится к вакуумной технике и, в частности, к электродуговым испарителям плазменных сорбционных вакуумных насосов, предназначенных Для получения и поддержания высокого в электрофизических установках.

Известен электродуговой испаритель геттера, содержащий .катод, установлен ный на охлаждаемом основании и отделеннбш от пускового электрода изолятором, и токоподвод, расположенный по оси испарителя 1.

Известный испаритель работает следующим образом.

Возбуждение дуги производится с помощью пускового электрода, отдёйенногЬ 6т катода и соединенного с помощью токоввода с источником пускового напряжения. При подаче высоковольтного импульса на пусковой электрод происходит электрический пробой по поверхности изолятора в зазоре гйёЖду пусковым электродом и катодом . Продукты эрозии пускового электрода и ИзбТГЯГСгра образуют предварительную плазму, достаточную для возникновения основного К,угового разряда между катодом и охл аЖДаемым анодом испарителя.

Однако, при достаточном запасе геттера, определяемой заданным сроком службы, действительный срок службы такого испарителя определяется доЛгове15ностью пускового электрода, подвергающегося в процессе работы значительным термоциклически.м напряжениям и эрозии. Кроме того, при испарении геттера происходит постепенное частичное запыление поверхности изолятора пускового электрода парамигеттера, образующими токопроводящую пленку, которая при достижении определенной толнхины приводит к закорачиванию катода и пускового электрода и препятствует возбуждению основной дуги.

Все эти факторы ограничивают срок службы, снижают надежность и приводят к необходимости демонтажа испарителя для замены пускового электрода. При этом происходит нарушение вакуума в откачиваемой системе, что является недопустимым в процессе эксплуатации большинства электрофизических установок.

Целью изобретения является повыщение срока службы ненадежности электродугового испарителя.

Указаннаяцель достигается тем, что катод вы1К) в виде отдельных равноудаленЧ1ЫХ от токоподвода элементов, а пусковой электрод - в виде втулок, размещенных коакеиально последним, причем токоподвод устапрвлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом, поочередно взаимодействующим с втулками.

На фиг. 1 изображен описываемый электродуговой испаритель; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Электродугозой испаритель геттера содержит катод, установлсппый на .охлаждаемом основании 1 и отделенный изолятором 2 от пускового электролта, и токоподвод 3, рЁсноложенный по оси испарителя. Катод выполнен в виде отдельных равноудаленных от токоподвода 3 элементов 4, 5, 6,7, апусковой электрод - в виде втулок 8, размеТцёнТГЫх коаксиально последним, причем токоподвод 3 установлен с возможностью поворота и снабженпружинным контактом 9, поочередно взаимодействующим с втулками 8,.

В процессе работы испарителя по окончании срока службы элемента 4 токоподвод 3 поворачивается и, с помощью пружинного контакта 9 входит в электрический конТакт с пусковым электродом следующего элемента 5 и так далее вплоть до окончания срока службы последнего элемента в блоке.

В результате процесс испарения геттера поддерживается практически непрерывным до полного расхода первоначального расхода геттера в испарителе. Количество катодных элементов в блоке может быть различным и ограничивается лишь задапным сроком службы испарителя и его габаритами.

В связи с этим обеспечивается бесперебойность работы, что особенно важно при работе термоядерных и лазерных установок, а также ускорителей различного назначения.

Бесперебойность работы в течение всего заданного срока службы позволяет полностью исключить объем работ, связанный с повторением циклов откачки системы с иснользованием дорогостоящих откачных средств вследствие нарушения высокого вакуума при частом демонтаже испарителей.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель геттера, содержащий катод, установленный на охлаждаемом основании и отделенный от пускового электрода изолятором, и токоподвод, расположенный по оси испарителя, отличающийся тем, что, с целью увеличения долговечности и повышения надежности, катод выполнен в виде отдельных равноудаленных от токоподвода элементов, а пусковой электрод - в виде втулок, размещенных коаксиально последним, причем, токоподвод устаповлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом, поочередно взаимодействующим с втулками.

Источники информации, принятые во внимание при экснертизе . 1. Авторское свидетельство СССР № 528386, кл. F 04 В 37/02, 1975.