Способ определения коэффициента поверхностной диффузии Советский патент 1978 года по МПК G01N13/00 

1

Изобретение относится к области экснери.меаталыкло исследования к нетики новерхноетных явлсин, в чаетиости к измерению коэффициента новерхноетной диффузии вещества.

Известен снособ оиределення коэффициента иоверхиостной диффузии, в основе которого лежнт исиользование радиоактивных изотопов.

Недостатками этого сноеоба являются ограничеипость изучаемых веществ и отноС1Т1е,1ьио низкая ч БСТвительность.

Иаиболее близок изобретению снособ, вкл1О;а:онд1и 1 ианыление на новерхноеть образца нленки иееледуемого вещества в автоэлектроп1 ом мпкроскопе, получепне автоэлектропного изображения его новерхности и измеренне екоростп движения границы нленкн. Недостаток способа состоит в его низкой ч ветвительности, а также в отсутствии 1юзможност11 нроводнть измерения для отдельных кристалличееких граней.

Целью изобретения являетея измерение коэффициента иоверхпоетиой диффузии для отдельиых кристаллических граней ыонокрпетал.чов и повышения чувствнтельноети сноеоба.

Для этого измерение екороети движеиня граннцы пленки нроводят путем региетрации низкочастотных фллктуацнй автоэлектрошюго тока, измерения времени снада Л тока в этих ф.1укт ац11;1х, а коэффицне1гг новерхиоетно| | днффузин находят но форм ле:

c--(-Lu&r(r. - Trlff b.f)

с- о -TiWj,-/{Tout

гдеС - размерная константа;

L-o - нотенц1 ал образца; е - заряд электрона; /д - раднуе атома образца;

/«м: м - средине маеса и атомны11 радиус остаточного газа; К,- - иостояииая Бо.чьцмана; Т и - а б с ол ют н а я т е м н ер а ту р а образна ;

ЕС - средняя энергня нсиареиня адсорбированного атома с поверхности образца; 6 - стенеиь нокрытия; Y - доля энерпп ноннзироьанпоio атома остаточного газа, передаваемая нлешчс HJIH его Здаре о новерхиость.

Способ осуществляется cлeдyIOH н образом.

На новерхность образца наносят нленку пен|ества, новерхностная днффузия которого исследуется. Но иолучениому до нанылення и.тенки автоэлектронном нзоб