Молекулярный насос вертикального типа Советский патент 1978 года по МПК F04D19/04 

Из откачиваемого объема молекулы газа поступают в насос и адсорбпруются там на охлаждеппых поверхностях ротора 4. При вращении ротора 4 молекулы, адсорбированные на цилиндрических поверхностях, проходят через узкие пазы 8 в кольце 7 в выходной патрубок 2 в виде монослоя, где под воздействием десорбирующих излучений происходит их десорбция. Десорбированные молекулы в виде газа откачиваются насосами предварительной откачки (на чертеже не показан). Незначительная часть десорбированных газов проникает через паз 8 между ротором 4 и кольцом 7 обратно в насос, где молекулы вновь адсорбируются сорбирующим материалом ротора 4.

В связи с тем, что устройство герметизации насоса обеспечивает сохранение минимального размера зазора между ротором и статором, обратное перетекание десорбированного газа уменьшено на два порядка, а следовательно, во столько же раз возрастает скорость откачки.

Формула изобретения

1. Молекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус, в выходном патрубке которого расположен источник де сорбирующего излучения, и установленный в корпусе колоколообразный ротор, наружная иоверхность которого покрыта сорбирующим материалом, отличающийся тем, что, с целью повыщения скорости откачки путем исключения загрязнения откачиваемого объема, в выходном патрубке между источником и ротором размещено герметичное устройство в виде сильфона, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка, а другой снабжен кольцом из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору поверхности которого выполнен капиллярный паз.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса десорбции, в полости ротора установлен источник теплового излучения регулируемой мощности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Пипко А. И. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., «Энергия, 1970, с. 162.

2.Авторское свидетельство СССР № 556704, кл. F 04d 19/04, 1965.

Фиг.1

Л/

фиг. 2