Способ изготовления электродной системы с автоэмиттером Советский патент 1979 года по МПК H01J9/02 H01J1/304 

1

Изобретение относится к области вакуумной электроники и может быть использовано при создании трнодных систем с автоэмиттером.

Для эффективного управления электронным потоком управляющий электрод необходимо размещать как можно блнже к поверхности автоэмиттера, что обычго достигается монтажом предварительно изготовленного автоэмиттера в управляющем электроде {I.

Известен также способ изготовления электродной системы с автоэмиттером, согласно которому изготовляют острие электролитическим травлением заготовки и монтируют его в управляющем электроде 2.

Такой способ изготовления электродной системы с автоэмиттером не обеспечивает эффективного управления электронным потоком, поскольку практически невозможно точно определить оптимальное положение управляющего электрода отиосительно острия. Точность же установки должна быть соизмерима с размерами автоэмиттера, т. е. порядка .

Целью изобретения является повып1ение коэффициента управления электронным потоком.

Поставленная цель достигается тем, что сначала монтируют заготовку для изготовления острия в управляющем электроде, а затем производят электролитическое травление заготовки до получения острия, использун в качестве электродов травящей ванны заготовку и управляющий электрод.

Благодаря такой последовательности операций размещение кончика автоэлектронного эмиттера в управляющем электроде в яесте с наибольшим коэффициентом управления осуществляется автоматически, так как перетравливание заготовки, т.е. образование эмиттера, происходит там, где напряженность поля в данной системе электродов максимальна.

Предлагаемый способ может быть осуществлен следующим образом. Управляющий электрод, который выполняется в виде пластины с отверстием в центре, жестко закрепляется на изоляторах относительно катододержателя. В катододержателе закрепляется заготовка, нз которой в дальнейщем будет изготовлено острие-автоэмиттер. Заготовка располагается таким образом, что она проходит через центр отверстия диафрагмы. Далее в соответствии с классическими способами получения острий. наносят каплю электролита в отверстие управляющего электрода и производят электролитическое травление заготовки, используя в качестве электродов пластину, кбторая является управляющим электродом, и нижний конец заготовки.

Перетравливание проволоки происходит в отверстии в пластине в том месте, где напряженность, поля максимальна.

Предлагаемым способом, был изготовлен макет триода с параметрами: коэффициент усиления при общем токе ма и мощности 10 ВТ (обычно ).

Формула изобретения

Способ изготовления электродной сие темы с автоэмиттером, включающий изготовление острия путем электролитического травления заготовки и монтаж его в управляющем электроде, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента управления электронным потоком, сначала производят монтаж заготовки в управляющем электроде, после чего осуществляют электролитическое травление заготовки до получения острия, используя в качестве электродов травящей ванны заготовку и управляющий электрод.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Коуата Masaki, Komai Hiroshi. Field Emission Diode and tlriode. Rev. Sri. Instr.,

1966. V.37, № 9, 1159.

2.C. C. Baker, H. K. Forsen, I. Williams «Investigation of the energy and impurity content of a crossed - field plasma gun, J. Appl. Phys. 1974, № 5, I, p. 2105.