Устройство для травления автоэмиттеров Советский патент 1977 года по МПК H01J9/02 

1

Изобретение относится к технологии изготовления автоэлектронных эмиттеров, используемых в автоэлектронных и автоионных проекторах для нсследования различных физических процессов на поверхности твердых тел, а также в качестве катодо-в некоторых электровакуумных приборов.

По основному авт. св. Л 512505 известно устройство для травления автоэмиттеров, применяемых в автоэлектронных и автоионных проекторах при исследовании различных физических процессов на поверхности твердых тел и в качестве катодов некоторых электровакуумных приборов. Это устройство выполнено в виде двух разделенных зазором параллельных пластин с соосными отверстиями, между которыми залит электролит, предназначенный для перетравливания заготовки автоэмиттера, вста вленной сверху в отверстия электрода. Нижний конец заготовки помещен в ванну с электропроводящей жидкостью, в которой находится второй электрод. Электролитическое травление заготовки осуществляется от источника тока, соединенного с двумя электродами. Угол конуса и длина конусной части автоэмиттеров могут регулироваться путем изменения величины зазора между пластинами первого электрода, т. е. путем изменения толщины травящей пленки электролита.

В таком устройстве травление автоэмиттеров из заготовок толще, чем 0,1 мм, часто приводит к истощению малого количества электролита, которое удается разместить меж.ау узкосведенным пластинами первого электрода. Это приводит к остановке процесса травления и к необходимост) добавления новой электролита. Кроме того, установление при необходимости малого зазора

0 между пластинамп первого электрода, например, в несколько десятых миллиметра, трудно -контролировать визуально.

Цель изобретения - повышение производительности травления за счет увеличеппя объема электролита и упрощение регулиров5ки и контроля, толщины травящей пленю; электролита.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве по крайней мере одна из обращен0ных друг к другу поверхностей пластин первого электрода выполнена в зоне отверстия вогнутой симметрично оси отверстия.

На чертеже показан один из возможных вариантов предлагаемо.го устройства.

5

Устройство для травления автоэмиттеров содержит первый электрод, выполненный в виде двух пластин / с соосны.ми отверстиями, причем, по крайней мере, одна из пластин в области отверстия имеет вогнутый участок 2. обращенный в сторону второй пластины и

симметричный относительно оси отверстия, источник тока 5, электролитическую ванну 4 с электродом 5, подсоединенным к указанному источнику тока. Пластины 1 электрода имеют между собой зазор, в который заливают электролит, предназначенный для перетравливания заготовки автоэмиттера. В электролитическую ванну 4 заливают электропроводящую жидкость 6. Заготовку автоэмиттера 7 вставляют в отверстия пластин /, верхний конец ее закрепляют в устройство (на чертеже не показано), а нижний - вводят в электропроводящую Ж:Ид;кость 6.

Зазор между пластинами первого электрода в области отверстий .регулируют в зависимости от Необходимой толщины травящей пленки и могут контролировать визуально на глаз, при помощи оптического микроскопа или щупов известной толщины. Зазор между пластинами в периферийной области значительно больше и ограничивается условием удержания электролита в зазоре капиллярными силами,

Таким образом, в предлагаемом устройстве пленка электролита имеет разную толщину в о.бласти отверстий и на периферии. Сохранение малой толщины пленки в месте помещения заготовки позволяет получать автоэмиттеры с .короткой конусной частью, а большая толщина пленки на периферии позволяет увеличить количество электролита и дает -возможность изготавливать автокатоды из более толстых заготовок. Увеличение зазора на периферии облегчает регзлнровку и контроль толщины зазора в области отверстий.

Формула изобретения

У|Стройство для травления автоэмиттеров по авт. св. № 512505, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности травления за счет увеличения объемаэлектролита и зпрощения регулировки травящей пленки электролита, по крайней мере одна из обращенных друг к другу пластин первого электрода выполнена вогнутой симметрично оси отверстия.

J

/

/Хх Х Х/Т ХХхУХХХХХ/Х