(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ стоянии, меньшем, чем фокусное расстояние контролируемой оптической по верхности. Поверхность рассеивателя 3 полностью перекрывает контролируемую поверхность детали 6. Устройство работает следующим образом. Излучение от источника 1 света че рез конденсатор 2 освещает рассеиватель 3 и через него контролируемую деталь 6. Рассеянное рассеивателем 3 излучение через оптическую систему 4 попсшает на пространственный модулятор 5 излучения, где формируется изо ражение поверхности рассеивателя 3. Экспонированный пространственный модулятор 5 излучения обрабатывают для получения на нем изображения рассеив теля 3 и возвращают на место экспози ции. Затем разворачивают деталь 6 во круг центра кривизны контролируемой оптической поверхности и наблюдают, локализованную на пространственном модуляторе 5 излучения интерференционную картину. По виду этой интерференционной картины можно оценивать качество контролируемой поверхности методами сдвиговой интерферометрии. Интерференционная картина на пространственном модуляторе излучения образуется следующим образом. Излучение, распространяющееся от р ассеивателя 3 в направлении оптической системы, имеет две составляющие: рассеянное назад излучение источника 1 света и рассеянное вперед излучение, отраженное от контролируемой поверхности детали 6, Изменяя фазу между этими волнами, например изменяя положение оптической поверхности, можно наблюдать на поверхности пространственного модулятора излучения интерференционную картину. Формула изобретения Устройство для контроля оптических поверхностей деталей, содержащее последовательно расположенные источник света, конденсор, рассеиватель, устанавливаемый перед контролируемой поверхностью на расстоянии, меньшем чем ее фокусное расстояние, и пространственный модулятор излучения, отличающееся тем, что, с целью повышения помехоустойчивости устройства, оно снабжено оптической системой, расположенной между рассеивателем и пространственным модулятором , а последний расположен в плоскости, оптически сопряженной с поверхностью рассеивателя. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Духопела И. И. и др. Устройства для контроля оптических поверхностей Журнал ОМП, 1975, 5, с. 64. 2.Авторское свидетельство СССР № 593070, кл. G 01 В 11/24, 1977.
у h
X .
