(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЕННЫХ ПОТОКОВ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ вакуумного ионно-плазменного низкотемпературного осаждения нанокристаллического покрытия из оксида алюминия | 2018 |
|
RU2676720C1 |
| СПОСОБЫ, ИСПОЛЬЗУЮЩИЕ УДАЛЕННУЮ ПЛАЗМУ ДУГОВОГО РАЗРЯДА | 2013 |
|
RU2640505C2 |
| ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ | 2010 |
|
RU2441354C1 |
| ПЛАЗМЕННО-ИММЕРСИОННАЯ ИОННАЯ ОБРАБОТКА И ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ ПРИ СОДЕЙСТВИИ ДУГОВОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ | 2014 |
|
RU2695685C2 |
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО АЗОТИРОВАНИЯ ИЗДЕЛИЯ ИЗ СТАЛИ ИЛИ ИЗ ЦВЕТНОГО СПЛАВА | 2009 |
|
RU2413033C2 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ АМОРФНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ РЕАКТИВНЫМ ИСПАРЕНИЕМ АЛЮМИНИЯ В РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ | 2016 |
|
RU2653399C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ | 1997 |
|
RU2116707C1 |
| Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником | 2020 |
|
RU2752334C1 |
| УСТРОЙСТВО ГЕНЕРИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА | 2011 |
|
RU2557078C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ НА ИЗДЕЛИЯХ МЕТОДОМ ОБРАБОТКИ В ПЛАЗМЕ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА | 1996 |
|
RU2110606C1 |
1
Изобретение относится к способам получения плазмы различных материалов и может бить использовано в технике нанесения тонких пленок и покрытий.
Известен способ получения плазменнык потоков путем зажигания электрического разряда накаливаемым катодом и испарения материала анода i.
Но такой способ имеет малую степень ионизации плазмы и невысокую скорость испарения рабочего воцества.
Известен также способ получения плазменных потоков путем испарения и ионизации материала анода в электрическом разряде с накаливаемым катодом 2,
Однако такой способ характеризуется небольшой величиной вводимой в разряд мощности и невысокой скоростью испарения материала анода.
Цель изобретения - увеличение подводИмой к разряду мощности и ускорение испарения материала анода.
Поставленная цель достигается тем, что после зажигания разряда накал катода уменьшают и одновреме1шо увеличиваю напряжение горения {Разряда, а через некоторый промежуток времени накал катода вьпслючают.
Способ поясняется чертежом. Для реализации способа используют анод 1, катод 2, рабочее вещество 3, подложку 4, катушку 5 высокочастотного поля и источники 6-8 питания.
С помощью источника 7 питания нагревают катод 2 до температуры электронной эмиссии, затем включением источника 6 обеспечивают бомбардировку электронами рабочего воцества 3, в результате чего оно разогревается и начинает испаряться. Напряжение источника 6 питакия увеличивают до тех пор, пока между катодом 2 и анодом 1 не зажжется разряд в парах анода - рабочего вещества. После этого накал катойа уменьшают, а напряжение источника 6 питания увеличивают, чтобы не происходил срыв разряда. Экспериментами устанрвлеио, что разряд в парах тятана, скандия идругих метал
