Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1979 года по МПК F04D19/04 

I . ,

Изобретение относится к вакуумной технике..; , , . .:. .

Известен молекулярный вакуумный насос, содержй1дий статор с расположенным в нем враадаювдамся барабаном, и спиральные паэы, переколчкой и выполненные по крайней Мере на одной из сопряженных повер.хностей статора, или ба абана 11 . . : . :,: В этом насосе заданном зазоре между ротором и статрром всевозможно получить : высокую степень сжатия иэза значительных утечекмежду д«уШ параллельными паздми. Для уменьшения. утечек можно сократить зазор между ротором и статором, однако это ведет к снижейию надежности работы насоса. .

Целью изобретения является повышение степени сжатия,

Указанная цель достигается тем, что каждый спиральный паз на части его длины разделен на несколько Kaiналов перегЬродками прямоугольного сечения, расположенными параллельно.

Йа фиг. 1 изображен предложенный насос, общий вид на фиг. 2 - развертка спиральных предложенного насоса.

Молекулярный вакуумный васос содержит статор i с расположенным в нем враадаюгдамся барабаном 2 и спиральные пазы.З, разделенные пере ачкой 4 и выполненные по крайней мере на- одйой из сопряженных поверхностей статора 1 или. барабана 2. Каждый . спиральный паз 3 на части его ДЛИНЫ разделен.на несколько каналов 5 перегЬрод1сами. 6 прямоугольного сечения

расположенными пар.аллёльно. При быстром эрааденйи fjoTopa относительно статора;; молекулы--получают направленный импульс и по спиральным каналам направляются к форвакуумному насосу (на чертеже не показан), т.е. осуществляется перекачивающее действйе .. .

Увеличение аналов на поверхности ротора поз вбляеТ уменьшить переТеЧки газа в отка чййаёмую емкость и увеличить степень сжатия.

Формула изобретения

Молекулярный вакуумный насос, содержащий статор с расположенным в нем вращайщимся барабаном, и спиральные пазы, разделенные перемычкой и