Устройство для регистрации информации Советский патент 1987 года по МПК G06K15/14 

1, 6 Изобретение относится к области, автоматики и вычислительной ёхник11, . 4 ч ;-5- ЧП 1 1 -Ц- . в частности к устроис.твам ВД1Я pe№у г- -. , .- -) -Ч f. : . . страции информации, и может быть использовано для регистрации графической информации на ф6тoчyвcfвитeльнoй поверхности носителя информации при изготовлении прецизионных фотошаблоHoiB.ч . Известны устройства для регистрации информации. Первое из известных устройств содержит лазер, оптически связанный через расширитель с оптической системой, соединенной с блоком управления, носитель информации оптически связанный с фокусирующим элементом и через светоделительный элемент с оптической системой. Недортаток этого устройства сое тоит в его низкой разрешающей спосо ности. Ji3BecTHO устройство, содержащее источник монохроматических колебани оптически связанный с расширителем, блок управления, соединенный с блоком ввода информации, с ключами и с -датчиками перемещения двухкоординат ного стола, приводы которого подклю чены к датчикам совмещения и фокусиIровки, фокусирующий элемент, оптически связанный с носителем информации, и светоделительный элемент. Его недостаток заключается в недостаточно высокой разрешающей способности и быстродействии устройств Цель изобретения - повышение раз решающей способности и быстродействия. Поставленная цель достигается те что устройство содержит пространственно-временной модулятор, соединен ный .с ключами и оптически связанный с расширителем и с входой светодели тельного элемента, выход которого оптически связан с датчиками совмещения и фокусировки, и дефлектор, оптически связа,нный со светодели тельным и фокусирующим элементами,а также и тем, что пространственновременной (Модулятор содержит оптически связанные многоканальный дефлектор, узел форйирования сигналов равномерной освещенности, фокусирующие элементы и щелевую диафрагму На чертеже представлена структур ная устройства. Устройство включает источник монохроматических колебаний 1, например лазер, расширитель 2, простран-. ственно-временной модулятор 3, содержащий многоканальный дефлектор 4, выполненный в виде совокупности элементов, узел формирования сигналов равномерной освещенности 5, фокусирующие элементы 6,7, выполненные в виде сферической и цилиндрической линз соответственно, и щелевую диафрагму 8, светоделительный элемент 9, выполненный в виде зеркала, фокусирующий элемент 10, выполненный в виде проекционного объектива, носитель информации 11, двухкоординатный стол 12, датчики перемещения 13,блок управления 14, блок ввода информации 15, ключи 16, датчик совмещения 17, привод 18 двухкоординатного ciroла, датчик фокусировки 19 и дефлектор 20. Устройство работает следующим образом. На двухкоординатный стол 12 устанавливают ниситель информации 11, например полупроводниковую пластину со знаками совмещения таки; образом, что она попадает в зоны захвата автоматических систем фокусировки и совмещения. Система фокусировки начинает следить за профилем поверхности полупроводниковой пластины так, что точки поверхности, находящиеся в зоне обработки, всегда находятся в плоскости изображения йроекционного объектива 10. Система автоматического совмещения по знакам на полупроводниковой пластине производит ее ориентацию по углу в плоскости пластины и привязку ее координатной сиетемы к координатной системе датчиков перемещений 13. По окончании операции совмещения двухкоординатный стол 12 устанавливают в исходное положе-ние. Из блока 15 в блок 14 заносят ; f информацию. 6 количестве строк топологического рисунка, и координатный стол 12 совершает движение с приблизительно постоянной скоростью. Блок 14 производит сравнение информации о топологическом рисунке с информацией от датчиков перемещения 13 о положении двухкоординатного Стола 12 и подготавливает соответствующую кодовую комбинацию на упра;вление ключами 16, При попадании кoop инaтнoгo стола 12 вузел координатной сетки блок 14 вырабатывает стробируюший импульс, передающий кодовую комбинацию на управление ключами 16. Ключи создают комбинацию на пряжений на электродах многоканального дефлектора 4 так, что через одни элементарные ячейки свет проходит без отклонения (состояние 1), а че рез другие ячейки с отклонением (сос тояние О) в плоскости ХОУ кристаллофизиче(кой системь координат. Элементарным ячейкам в состоянии 1 в сопряженных точках щели щелевой диафрагмы 8 соответствуют светлые элементы, а ячейкам в состоянии О тем ные элементы. Длительность стробирую щего импульса, если используется лазер непрерывного действия, определяет время экспонирования изображения. Таким образом экспонирук1т в движении на фоточувствительном слое широкую строку. Рисунок циклически повторяют с периодом, равным размеру модуля вдоль строки и образуют на фоточувствительном слое мультиплицированный рисуйок широкой строки. Затем двухкоординатный стол 12 смещают по координате у (шаговое движение) на заданный размеру из блока 15 заносят информацию о следующей широкой строке типологического рисунка, двухкоординатный стол 12 сканируют в обратном направлении, экспонируя следующую строку. Так происходит до тех пор пока не будет проэкспони:рована мульТйгтлйЦйрбванная строка размером, равным поперечному размеру модуля. После чего весь предыдущий цикл повторяется до тех пор, пока не будет полностью заэкспонирован весь носитель информации 11. Блок 15 должен содержать-информацию только об одном модуле БИС. Введение новых блоков и новых конструктивных связей позволило Существенно ПОВЫСИТЬ 15азрешающую способность и быстродействие устройства.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ ИНФОРМАЦИИ,содержащее источник' монохроматических колебаний, оптически связанный с расширителем, блок управления, соединенный с блоком ввода информации, с ключами и датчиками перемещения двухкоордйнйт--^ . ного стола, приводы которого Подключены к датчикам совмещения и фокусировки, фокусирующий элемент, опти•;вшаз№йь""\ ,^